판매용 중고 ULVAC SMD-2400C #293755343

ULVAC SMD-2400C는 PVD (physical vapor deposition) 에 의한 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 24 개의 표적, 원형, 직접 타입 소스가 장착되어 다양한 각도 및 방향으로 다양한 표적 재료를 스퍼터팅 할 수 있으며, 넓은 지역에 걸쳐 균일 한 필름 성장이 가능합니다. 이 장치는 반도체 장치의 연구 및 개발과 평면 패널 디스플레이 (FPD) 제작에 이상적입니다. SMD-2400C는 이중 주파수 DC-magnetron (DF-DCM) 전원 공급 장치로 구동되며, 뛰어난 입자 제어 및 스퍼터링 안정성을 제공합니다. 이 전원 공급 장치는 또한 방열 방지 및 산화 방지 작업을 허용하는 호 방지 (arc prevention) 기능을 제공합니다. 또한이 기계에는 아르곤 가스 소스 (Argon gas source) 와 독립 가스 센서 (Independent Gas Sensor) 가 장착되어 있으며, 둘 다 스퍼터링 가스의 효율적인 제어 및 전달을 보장합니다. 또한 스퍼터 소스 선택기 (Sputter Source Selector) 를 사용하여 스퍼터링할 대상 (Target to Sputtered) 과 순서대로 선택할 수 있습니다. 또한, 자산은 멀티 스테이지 이온 에칭 처리를 제공하여 고해상도 패턴과 낮은 라인 너비를 생성합니다. ULVAC SMD-2400C에는 광범위한 자동 진공 제어가 장착되어 있어 초고진공 기간 및 LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 공정이 가능합니다. 더욱이, 이 모델은 또한 고급 펠릿 없는 목표 결합을 제공하여 펠릿을 지속적으로 청소하고 교체 할 필요가 없습니다. SMD-2400C 는 여러 개의 로트 사이즈를 처리할 수 있어, 효율적이고 경제적인 장비입니다. 또한, 시스템은 수많은 사용자 정의 매개변수가 있는 대화형 사용자 친화적 GUI 를 제공하여 프로세스 결과를 최대화할 수 있습니다. 요약하자면, ULVAC SMD-2400C는 강력하고 효율적인 스퍼터링 장치로서, 고급 자동화 및 제어 기능, 여러 대상, 광범위한 자동 진공 제어 기능을 제공합니다. 이 기계는 연구 및 생산 작업에 모두 박막 (thin film) 의 증착에 이상적입니다.