판매용 중고 ULVAC SMD-1800X #9313943

ULVAC SMD-1800X는 고품질 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고급 모션 제어 모션 스퍼터링 유닛 (motion sputtering unit), 효율적인 챔버 대피를위한 초고진공 챔버 (vacuum chamber) 및 지능형 프로세스 관리 도구를 포함하는 독특하고 정교한 프로세스 머신으로 구성됩니다. 모션 제어 스퍼터링 에셋은 반응성 및 비 반응성 박막 모두를 생성 할 수 있습니다. 4 개의 스퍼터링 소스로 구성되어 있으며, 최대 3 개의 화합물을 분리 또는 동시에 스퍼터링 할 수 있습니다. 또한 안정적인 스퍼터링 환경을 위해 대상 챔버에 장착 된 8 자석 디스크 (8 자석 디스크) 도 포함되어 있습니다. 자석 디스크는 기판에 균일 한 필름 증착을 보장하고 증착 오류를 최소화합니다. 고성능 챔버는 빠르게 대피하여 짧은 시간에 매우 높은 진공에 도달합니다. 개방형 챔버 설계가 있으며 증착 과정을 모니터링하고 제어하기위한 4 개의 광학 창문이 포함되어 있습니다. 또한, 기판 저항기를위한 효율적인 멀티 존 (multi-zone) 상승 모델이 장착되어 있습니다. 이를 통해 균일 한 기판 상승이 원하는 챔버 온도를 유지할 수 있습니다. 다기능 공정 장비에는 고급, 고성능 기판 포지셔닝 시스템 및 최첨단 기판 온도 컨트롤러가 포함됩니다. 또한 IPMS (Intelligent Process Management Unit) 가 포함되어 있습니다. IPMS (Intelligent Process Management Unit) 는 프로세스 매개변수를 쉽게 설정할 수 있도록 설계되었으며 예치된 필름의 품질에 대한 빠른 피드백을 제공합니다. "프로세스 체크 (Process Check)" 기능은 배치 프로세스 전반에 걸쳐 다양한 검사를 수행하여 배치 프로세스의 성능에 대한 정보를 제공할 수 있습니다. SMD-1800X 머신 (SMD-1800X machine) 의 첨단 기술을 활용하면 박막 증착을 통해 프로세스 비용을 낮추면서 정확성과 속도를 높일 수 있습니다. 이 도구는 정확하고 효율적인 작동을 통해 고급 전자 장치 (Advanced Electronic Device) 와 박막 연구 (Thin Film Research) 제작에 이상적인 조건을 제공합니다.