판매용 중고 ULVAC SMD-1800 #9384066

ULVAC SMD-1800은 종종 박막 장치 (Thin Film Devices) 제작에 사용되는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 뛰어난 스퍼터 코팅 품질이 중요한 산업 응용 분야를 위해 설계되었습니다. SMD-1800은 통합 된 5 축 로봇 암을 갖춘 고속 패턴 스퍼터 증착을위한 다이오드 형 RF 스퍼터링 프로세스를 사용합니다. 스퍼터링 장치는 외부 마그네트론 소스와 각 소스에 대한 개별 DC 또는 RF 전원 공급 장치를 갖춘 이중 헤드 구성입니다. 이 장치는 Aluminum, Titanium, Copper 및 Alloy와 같은 광범위한 수집기 재료를 제공합니다. 이 시스템은 소스의 손쉬운 수동 정렬 조정으로 손쉬운 유지보수 (maintenance) 및 서비스 (serviceability) 를 위한 유연한 내부 구조를 갖추고 있습니다. 조정 가능한 스퍼터링 압력 챔버 (sputtering pressure chamber) 는 아르곤 환경을 정확하게 제어 할 수 있으며, 평면 기판에서 패턴 화 및 균일 한 스퍼터링 증착에 이상적입니다. RF 주파수 (RF frequency) 는 외부에서 응용되는 축 자기장과 결합하여 필름의 증착에서 더 큰 유연성을 가능하게하는 조절 가능하다. 이 장치에는 증착 균일성 증가를 촉진하기 위해 기판 난방 플레이트 (옵션) 와 프로세스 제어 강화를위한 여러 내부 모니터 도구 (in-situ monitor tools) 가 있습니다. ULVAC SMD-1800은 실시간 작업 제어 및 프로세스 최적화 GUI를 갖춘 완전 자동화 머신입니다. 로봇 암은 최대 6 개의 "x6" 기판을 수용 할 수 있으며, 패턴 화 및 무분별 기판을 스퍼터링 환경으로 또는 스퍼터링 환경으로 전송 할 수 있습니다. 따라서 평면 데이터 저장 장치, 씬 필름 트랜지스터, 기타 스퍼터 증착 어플리케이션 (sputter deposition application) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 전반적인 도구는 매우 효율적인 자산으로, 탁월한 프로세스 기능과 품질을 제공합니다. 이 "필름 '은 정밀도 와 정확도 로 빠른 속도 로" 필름' 의 증착 과 "코우팅 '에 적합 하다. 또한, 우발적 인 위험 으로부터 보호 할 수 있는 여러 가지 기능 으로 매우 안전 하다. 탁월한 스퍼터 속도, 두께의 균일성, 프로세스 안정성을 자랑하는 SMD-1800 (SMD-1800) 을 통해 고객이 원하는 결과를 얻을 수 있습니다.