판매용 중고 ULVAC SIV-850 #9050843

ULVAC SIV-850은 산업 응용 분야를 위해 설계된 PVD (Physical Vapor Deposition) 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 ULVAC 고유 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술을 기반으로하며 다양한 기판에서 금속, 산화물 및 기타 재료의 박막을 생성 할 수 있습니다. 이 장치의 고급 설계 (Advanced Design) 는 소형 설치 공간과 낮은 TCO (총소유비용) 로 성능과 단순성에 최적화되어 있습니다. SIV-850은 온도, 압력, RF 전원 및 전력 밀도를 포함한 프로세스 매개 변수를 자동으로 제어합니다. 이 기계는 DC, 펄스 DC 또는 RF 모드에서 작동하는 여러 스퍼터 소스를 사용하여 광범위한 잠재적 인 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. 이 도구는 순수 금속, 합금 대상 (alloy target), 복잡한 멀티 레이어 스택 (multi-layer stack) 을 포함한 다양한 재료 유형과 함께 사용하도록 설계되었으며, 다양한 박막 증착 요구를 수용할 수있는 유연성을 제공합니다. 자산은 클린 룸 (cleanroom) 작업에 대한 인증을 받았으며, 안전 작동 매개변수가 초과된 경우 자동 종료 (auto-shutdown) 를 포함하여 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한 증착실 (deposition chamber) 내에서 일정한 온도를 유지하여 균일하고 재현 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 기본 제공 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하여 프로세스 레시피를 쉽게 최적화할 수 있습니다. 모델의 고급 설계 (advanced design) 는 또한 증착률이 일관성이 높고 반복 가능하며, 입자 증착도 줄입니다. 이것 은 매우 얇은 "필름 '의 믿을 만한 층 을 제공 하며, 심지어 복잡 한 구조 를 높은 증착율 로 처리 할 때 에도 그러하다. 또한, ULVAC 특허를받은 "직접 쓰기 (Direct Write)" 기술은 스팟 증착을 가능하게하여 필요한 곳에만 재료를 입금할 수 있습니다. ULVAC SIV-850은 업계 최고의 성능, 유연성, 신뢰성을 제공하는 업계 최고의 박막 증착 어플리케이션입니다. 또한 경제적인 장비로, 소규모/대규모 생산 환경에 매력적입니다.