판매용 중고 ULVAC SIV-500 #9382251

울VAC SIV-500 (ULVAC SIV-500) 은 스퍼터링 장비로, 컴퓨터 칩 같은 기판 표면에 박막을 만듭니다. 이 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 기판에 재료를 증착시키는 소스로, 일반적으로 아르곤 (argon) 인 건조 된 가스를 사용합니다. "아르곤 '" 이온' 은 고전압 을 사용 하여 기판 표면 을 향해 가속 되며, 기판 의 꼭대기 층 에서 물질 을 떨어뜨리고 증착 시킨다. 이 과정 은 "컴퓨터 '" 칩' 을 만드는 데 유익 한, 박막 으로 연결 된 2 개 의 평판 을 만드는 데 사용 할 수 있다. SIV-500은 내부 부피가 약 850 리터인 500mm x 420mm 진공 챔버를 갖추고 있습니다. XYZ 단계에서 기판 주위로 이동할 수있는 총 4 개의 스퍼터 소스 (3 개의 마그네트론 및 1 개의 DC 평면) 가 장착되어 있습니다. 저온 스퍼터링 (sputtering) 과 바이어스 스퍼터링 (bias sputtering) 기능을 가지고 있으며, 기판 표면에서 다른 밀도의 필름을 생성 할 수있다. 이 장치에는 스퍼터링 프로세스를 모니터링하기 위해 뷰포트 (viewport) 및 보기 소프트웨어가 함께 제공됩니다. ULVAC SIV-500에는 최대 8 인치 직경의 기판을 로드 및 언로드하기위한 로드 잠금 (load-lock) 및 언로드 잠금 모듈이 장착되어 있습니다. 최대 5 kg 무게의 습식 공정 카세트를 처리 할 수 있으며, 한 번에 최대 3 개의 기판을 적재 할 수 있습니다. 기판의 온도를 낮추기 위해 내장 기판 쿨러 (bist-in substrate cooler) 와 함께 제공되며 증착 과정을 실시간으로 확인하는 직교 뷰 카메라도 있습니다. SIV-500은 최대 몇 미크론 두께의 10 나노 미터 사이에서 박막을 만들 수 있습니다. ULVAC SIV-500은 효율적인 스퍼터링 프로세스에 이상적인 기계입니다. 반도체· LED· 디스플레이 등 다양한 용도에 적합한 다양한 기판을 다룰 수 있다. 로드 잠금/언로드 잠금 도구 (load-lock/unload-lock tool) 와 같은 고급 기능을 통해 처리량이 높을 뿐 아니라, 각 배치 프로세스가 가장 최적의 상태로 실행되도록 실시간 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 이러한 모든 기능은 SIV-500 모듈식 디자인과 함께 박막 스퍼터링 (sputtering thin film) 에 이상적인 자산입니다.