판매용 중고 ULVAC SIV-500 #293773983

ULVAC SIV-500은 반도체, 광학 및 연구 산업의 고급 박막 증착 프로세스를 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 선도적 인 진공 장비 제조업체로서, ULVAC는 SIV-500 (SIV-500) 을 설계하여 현대 재료 과학 연구 및 생산 응용 프로그램의 높은 요구를 충족시켰다. 이 다기능 시스템 (versatile system) 은 다양한 재료를 정밀도 및 제어 기능을 갖춘 기판에 스퍼터링할 수 있는 탁월한 성능과 유연성을 제공합니다. ULVAC SIV-500의 주요 특징은 고급 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술로, 다양한 기판 재료에서 박막을 효율적이고 균일 하게 증착 할 수 있습니다. 이 장치에는 여러 개의 스퍼터 음극 (sputter cathode) 이 장착되어 있으며, 각각 다른 대상 재료를 동시에 스퍼터링 할 수 있으며, 복잡한 다층 증착 과정을 허용합니다. 음극은 대용량 기판에 대한 최적의 적용 범위 및 균일성을 보장하기 위해 챔버 내에 전략적으로 배치됩니다. SIV-500에는 높은 수준의 진공 상태를 달성하기 위해 빠른 펌프 다운 시간과 높은 펌핑 속도를 제공하는 안정적인 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 및 로터리 베인 펌프 (rotary vane pump) 조합을 갖춘 고성능 진공기가 장착되어 있습니다. 즉, 불순물이 적은 깨끗하고 안정적인 프로세스 환경을 보장하며, 뛰어난 접착력과 균일성을 지닌 고품질 필름 (film deposition) 을 제공합니다. ULVAC SIV-500은 강력한 진공 도구 외에도 고급 공정 제어 (Process Control) 기능을 통합하여 전력, 압력, 가스 유량 (Gas Flow Rate) 과 같은 증착 매개변수를 실시간으로 정확하게 조정할 수 있습니다. 에셋에는 레시피 관리, 데이터 로깅 (Data Logging), 원격 모니터링 기능 등 모든 모델 기능에 대한 직관적인 제어 기능을 제공하는 사용자에게 친숙한 인터페이스가 제공됩니다. SIV-500 증착실 (Deposition Chamber) 은 힌지 (Hinged) 전면 도어와 편리한 목표 및 기판 로딩을 위해 빠른 분리 클램프를 사용하여 간편한 액세스 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 이 약실은 열 절연 특성이 뛰어난 고품질 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 안정적인 공정 온도를 보장하고 강착 중 열 손실을 최소화합니다. 프로세스 유연성을 향상시키기 위해 ULVAC SIV-500에는 기판 가열, 현장 두께 모니터링, 반응성 스퍼터링 기능 등 다양한 옵션 기능이 장착될 수 있습니다. 이러한 추가 기능을 통해 사용자는 장비를 조정하여 특정 프로세스 요구 사항을 충족시키고 다양한 박막 (Thin Film) 증착 기술을 탐색할 수 있습니다. 전반적으로, SIV-500은 다양한 박막 증착 어플리케이션에 탁월한 성능, 정밀도, 제어를 제공하는 안정적이고 다양한 스퍼터링 시스템입니다. 리서치 (research), 개발 (development), 생산 (production) 에 사용되든 간, 이 장치는 반복성이 높고 프로세스 안정성이 뛰어난 우수한 결과를 제공하므로 최첨단 재료 과학 연구 및 고급 박막 제조 프로세스에 이상적인 선택입니다.