판매용 중고 ULVAC SIV-500 #293608676

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ID: 293608676
빈티지: 2014
In-line sputtering system ITO Sputter Gas: Argon 2014 vintage.
ULVAC SIV-500은 박막 재료 증착 및 표면 코팅 생산에 사용되는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 반도체, 화학 및 기계 제조 산업의 다양한 응용 분야에 사용됩니다. SIV-500은 정확하고 반복 가능한 샘플 코팅을 제공하기 위해 설계된 직류 (DC) 마그네트론 스퍼터링 장치입니다. 금속, 산화물, 고성능 화합물 등을 스퍼터팅 할 수있는 5 개 대상 소스가 장착되어 있어 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 기계는 또한 유리, 폴리스티렌, 쿼츠 등 다양한 기판 재료를 가진 단일 기판에서 여러 기판까지 다양한 크기의 (사용 가능한) 를 제공합니다. ULVAC SIV-500에는 다양한 기능이 제공되어 박막 제작 어플리케이션에 적합합니다. 고급 폐쇄 루프 프로세스 컨트롤러 (closed-loop process controller) 를 통해 증착 프로세스의 모든 측면을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 이 툴에는 스퍼터링 (Sputtering) 이온화 프로세스를 정확하게 제어할 수 있는 통합 전원 공급 장치가 있습니다. SIV-500은 원하는 작업 압력을 유지하면서 빠르고 일관된 기본 압력을 제공하는 4 단계 대피 자산을 가지고 있습니다. 또한, 압력 과 "플라즈마 '상태 를 정확 하게 감지 할 수 있는 고급" 플라즈마 센서' 가 장착 되어 있다. 이 센서는 최적의 스퍼터링 성능을 위해 일관된 가스 환경을 유지하는 데 사용됩니다. ULVAC SIV-500은 프로그래밍 가능한 샘플 교환 메커니즘, 자동 샘플 로딩 모델 등 다양한 샘플 교환 기능을 제공합니다. 이 장비는 또한 자동 스퍼터링 깊이 제어로 배치 처리를 허용합니다. 또한, SIV-500의 이온 모니터링 시스템을 사용하면 필름 레이어 두께를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 전반적으로, ULVAC SIV-500은 광범위한 어플리케이션에 적합한 고성능 스퍼터링 유닛으로, 정확한 제어 및 안정적인 필름 레이어 증착을 제공합니다. 이 제품은 다양한 기능과 기능을 제공하여 씬 필름 (thin film) 을 효율적으로 제작할 수 있습니다.
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