판매용 중고 ULVAC SIV-200S #9266436

ULVAC SIV-200S는 박막 증착에 사용되는 다중 중공 음극 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 금속, 반도체, 절연체 등 다양한 물질에 대한 뛰어난 균일 한 박막 증착을 제공하도록 설계되었습니다. SIV-200S는 독특한 2 단계 마그네트론 스퍼터 헤드 (magnetron sputter head) 를 특징으로하며, 다양한 구성 요소에서 균일 한 필름 증착이 가능합니다. 또한, 이 단위는 더 두꺼운 탄소 층 및 고온 기질에 최적입니다. ULVAC SIV-200S 기계의 핵심은 하이브리드 중공 음극 스퍼터 헤드입니다. 머리에는 2 개의 개별적으로 작동 가능한 마그네트론 건 (magnetron gun) 이 있으며, 이를 통해 표적과 보조 재료의 스퍼터링이 가능합니다. 이 하이브리드 헤드는 결정 학적 방향 제어 (crystallographic orientation control) 로 재료를 침전하거나 여러 재료의 독립적 인 증착을 수행 할 수있다. 독립된 고온 포트가있는 2 개의 개별적으로 조절 가능한 음극 원 (cathode source) 은 재료 증착을 최적으로 제어하고 다양한 필름에 이상적인 조건을 제공합니다. SIV-200S는 독특한 빈 음극 하이브리드 스퍼터 헤드 (hybrid sputter head) 외에도, 진공 품질을 손상시키지 않고도 샘플을 빠르고 편리하게 로드 또는 언로드할 수있는 로드 잠금 도구를 갖추고 있습니다. 로드 잠금 자산은 오염을 방지하여 일관되고 정확한 결과를 보장합니다. ULVAC SIV-200S에는 완전히 통합 된 3 축 챔버도 포함되어 있습니다. 이 방은 기판 및 소스가 정밀 스퍼터링을 위해 완벽하게 정렬되도록 보장합니다. 완전 통합 냉각 모델 및 히터 스테이지는 또한 스퍼터 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 온도 조절을 제공합니다. 장비는 또한 X 선 검출기, 이온 게이지, 질량 분석기와 같은 다양한 고급 도구와 호환됩니다. 이러한 도구는 증착 과정에서 정확성과 정확성을 더욱 보장합니다. 전반적으로, SIV-200S 시스템은 뛰어난 균일 한 박막 증착과 정확한 온도 조절을 제공하는 고급 스퍼터링 장치입니다. 하이브리드 헤드 (Hybrid Head) 와 통합 냉각기 (Integrated Cooling Machine) 가 균일성과 정확성을 보장하기 때문에 정밀 스퍼터링이 필요한 사람들에게 이상적입니다. 이를 통해 ULVAC SIV-200S는 다양한 박막 증착 프로세스에 대한 훌륭한 선택입니다.