판매용 중고 ULVAC SIV-200S #9162025

울VAC SIV-200S (ULVAC SIV-200S) 는 다양한 응용 프로그램을 위해 재료의 얇은 필름을 기판에 배치하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 RF (Radio Frequency) 스퍼터링을 사용하여 대상 재료를 기화시키고 기화 된 재료를 균일 한 방식으로 기판에 배치합니다. 기내 SIV-200S에는 2 개의 평면 마그네트론이 있으며, 각각 장치의 절반을 구성합니다. 기계 설계를 통해 이중 목표 (dual-target) 작동이 가능하므로 단일 실행 (single run) 으로 기판에 2 개의 다른 재료를 배치하여 제조 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 또한이 도구는 챔버를 청소하기위한 자동 데가 챔버 (degas chamber) 를 특징으로하며, 이는 증착의 균일성을 최대화합니다. 에셋에는 1.3 x 10-3 Pa 의 압력을 달성하고 연속 또는 배치 처리 모드로 작동 할 수있는 고용량 진공 펌프가 장착되어 있습니다. 이것은 특정 필름에 특히 중요한데, 저압 기판은 고품질 박막 (thin film) 을 생산하는 데 필요합니다. ULVAC SIV-200S는 정확한 온도 조절을 특징으로합니다. 챔버 (chamber) 와 기판 홀더 (substrate holder) 는 각각 2 개의 독립적 인 공랭식 온도 컨트롤러로 제어되며, 이는 적정 온도 창의 정확하고 균일 한 강착을 통해 퇴적 된 필름의 결함 생성을 제거한다. 한정된 필름 두께 모델 때문에 SIV-200S (SIV-200S) 는 대상 재료의 두께 또는 기판으로부터의 거리에 관계없이 기판과 표적을 일정한 간격 (gap) 으로 유지하면서 정확하고 빠르게 증착 할 수 있습니다. 이것은 전체 기판에 균일 한 증착을 보장합니다. 또한 빠른 PCR 스캔 및 필름 두께 모니터가 장비에 기본으로 제공됩니다. ULVAC SIV-200S (ULVAC SIV-200S) 는 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 시스템으로 더 얇고 균일 한 박막에 필요한 정확성과 정확성을 제공 할 수 있습니다. 강력한 진공 펌프, 이중 마그네트론 유닛, 정밀한 온도 조절, 균일 한 필름 두께의 기계, 그리고 두 개의 다른 제조업체를 단일 실행으로 입금하는 능력 (SIV-200S) 은 다양한 박막 증착을위한 훌륭한 선택입니다.