판매용 중고 ULVAC SIV-200S #293637678

ID: 293637678
빈티지: 2010
Sputtering system 2010 vintage.
ULVAC SIV-200S 스퍼터링 장비는 다양한 생산 및 연구 요구를 충족하도록 설계된 고정밀 PVD (physical vapor deposition) 시스템입니다. 이 장치는 ULVAC 원래 고온 마그네트론 스퍼터링 소스 인 MVPS (Magnetron Variable Pressure Series) 에 연결된 진공 챔버로 구성되어 정확하고 균일 한 코팅 증착을 허용합니다. 300 x 300 x 200mm (300 x 300 x 200mm) 의 진공실 (vacuum chamber) 과 복잡한 구조물의 독특한 설계로, 이 기계는 다양한 유형의 재료의 증착에서도 정확한 균일성과 균일성을 얻을 수 있습니다. SIV-200S는 또한 평평 조정을 위해 향상된 버전의 ULVAC 오리지널 RF- 강제 기판 척 (Chuck) 을 갖추고 있습니다. 이 조정 도구는 ULVAC의 새로운 HTBT (High-temperation Bipolar Throat) 프로세스를 사용하여 기판의 정확한 균일성을 허용합니다. 에셋은 또한 PVD 프로세스 중 결함 발생의 가능성을 최소화하고 증착의 균일성을 개선하기위한 교류 구동 메커니즘 (alternator drive mechanism) 을 특징으로합니다. 또한, ULVAC는 대상 소스 및 스퍼터링 구성 요소의 정확한 분석을 위해 초고속, 저 비행 질량 분광기를 설계했습니다. 질량 분석기 (Mass Spectrometer) 는 코팅 (Coating) 의 색과 특성에 기여한 모든 컴포넌트의 분수를 높은 정밀도로 측정 할 수 있습니다. ULVAC SIV-200S 기능은 정교한 안전 및 연동 모델을 갖추고 있습니다. 모든 안전 (Safety) 및 연동 기능 (Interlock Function) 은 지속적으로 모니터링되며, 장비를 챔버나 챔버의 일부에서 빠르고 쉽게 제거 할 수 있습니다. 이렇게 하면 시스템을 빠르고 쉽게 관리하고 청소할 수 있습니다. 전반적으로, SIV-200S 스퍼터링 유닛은 강력하고 신뢰할 수있는 기계로, 다양한 재료의 고정밀 스퍼터링에 적합합니다. 견고한 디자인, 정교한 안전 및 연동 도구 (Interlock Tool) 는 코팅의 균일성과 빠른 분석을 보장하며, 다용도를 더욱 높입니다. 이 자산은 생산 및 연구 요구에 이상적이며, 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 보장합니다.
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