판매용 중고 ULVAC SIV-200 #293622781

ULVAC SIV-200 (ULVAC SIV-200) 은 기판, 웨이퍼 등의 표면에 레이어를 고품질 박막 증착하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 AC 마그네트론 스퍼터링, DC 마그네트론 스퍼터링, 바이어스 스퍼터링 등 다양한 증착 기술과 프로세스가 있습니다. 또한 알루미늄, 스테인리스 스틸 및 금속 산화물 목표를 포함한 여러 대상이 있습니다. 모든 대상은 왜곡이없는 자기장을 사용하여 정확한 스퍼터링 및 균일 한 코팅 특성을 달성합니다. 이 장치의 RF 주파수 생성기 (RF Frequency Generator) 및 고급 제어 시스템 (Advanced Controling Systems) 은 정밀도를 제공하여 최대 균일성으로 높은 처리량을 제공합니다. 초고진공 (UHV) 조건에서 작업 할 수있는 SIV-200 스퍼터링 머신은 우수한 입자 자유 증착과 주변 스퍼터링 매개변수의 정확한 제어를 모두 보장합니다. nanoprecise dc 제어, 정확한 펄싱 기술 및 조절 가능한 무선 주파수 전원이 밀리초 수준으로 내려갑니다. 이 정확한 제어를 통해 공구는 1mil/disc의 균일 한 재료를 적용할 수 있습니다. 또한, 자산은 압력 제어기 (pressure controller) 를 사용하여 증착 중 지속적인 압력을 유지하여 일관된 필름 성능을 보장합니다. 더 큰 챔버 볼륨으로 제작 된 ULVAC SIV-200 (ULVAC SIV-200) 은 단일 트레이에 여러 기판을 수용하여 프로세스 시간을 크게 줄일 수 있습니다. SIV-200은 비접촉식 광학 두께 측정을 위해 회전 단계에 장착 된 고정밀 레이저 간섭계를 특징으로합니다. 또한 중요한 기판 및 웨이퍼 검사 기능을위한 고급 비전 카메라 (vision-camera) 모델을 갖추고 있으며, 정확한 표면 분석 및 균일성 측정을 제공합니다. 이 고급 비전 카메라 (vision-camera) 장비는 예금 공정의 라이브 모니터링 및 품질 관리에 사용할 수 있습니다. ULVAC SIV-200은 탁월한 증착과 정확한 제어를 제공하지만, 쉽게 접근할 수 있습니다. 정비를 용이하게하기 위해 챔버 도어 (chamber door) 에는 챔버 (chamber) 부품 처리를 쉽게 이용할 수있는 리프트 도어 (lift door) 가 포함되어 있어 연구 개발 실험실에 이상적인 선택입니다. 또한, 기후 관리 환경은 시스템 안정성과 가용성을 향상시키는 것을 최소화합니다. 전반적으로, SIV-200 스퍼터링 장치는 정확한 제어와 손쉬운 접근성을 갖춘 뛰어난 스퍼터링을 제공하는 뛰어난 도구입니다. 고급 기능을 통해 나노 정밀 dc 제어, 정확한 펄싱 기술 및 조절 가능한 무선 주파수 전력, 임계 기판 및 웨이퍼 분석을위한 고밀도 레이저 간섭계 (laser interferometer) 및 비전 카메라 머신 (vision-camera machine) 이 가능합니다. 이 도구는 높은 처리량과 낮은 유지보수 (maintenance) 를 갖춘 매우 정확하고 균일한 코팅에 최적의 조건을 제공합니다.