판매용 중고 ULVAC SIH-4545 #9050844

ULVAC SIH-4545는 마이크로 전자 장치 제조에 사용되는 고급 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 "박막 '을 기판 에 균일 하고 정확 하게 증착 시키도록 설계 되었으며, 매우 정확성 과 반복성 이 있다. 이 시스템은 상호 연결 (interconnect) 및 금속 산화물 저항기 (metal oxide resistor) 와 같은 복잡한 구조의 박막 증착에도 사용될 수 있습니다. SIH-4545 장치는 4 개의 독립적 인 스퍼터 소스와 로드 락 챔버로 구성됩니다. 각각 2800W "마그네트론 '으로 구동 되는" 소오스' 는 기계 의 앞면 에 장착 된다. 이것 은 선택 하는 표적 인 물질 의 균일 하고 균일 한 "스퍼터링 '을 허용 하며," 아르곤', 질소 및 산소 를 포함 한 광범위 한 공정 "가스 '를 특징 으로 한다. 플라즈마 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어하기 위해 반복 가능한 고해상도 셔터 툴이 포함되어 있습니다. 로드 잠금 챔버는 빠른 샘플 로딩을 위해 설계되었으며 자동 샘플 분석 및 샘플 표면 사전 처리 (예: Plasma Activated Cleaning 및 Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 를 제공합니다. 이 기능은 자산의 다양성을 더욱 향상시킵니다. ULVAC SIH-4545에는 생산성 향상을 위해 설계된 여러 가지 다른 기능이 있습니다. 예를 들어, 최대 2000 nm/min의 높은 증착률을 달성 할 수 있습니다. 재료에 따라 90% 이상의 넓은 영역에 비해 높은 균일성을 달성 할 수도 있습니다. 평균 증착 균일성은 1 ~ 2% 이내이며, 이 모델은 또한 결함이없는 박막에 대한 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비는 안전 표준 (Safety Standard) 을 충족하도록 설계되었으며, 30,000 시간 이상의 수명을 통해 견고하고 안정적입니다. 또한 통합 냉장 시스템과 유지 보수 용수 재활용 장치가 제공됩니다. 마지막으로 ULVAC는 측정 도구, 프로세스 자동화 시스템, 업그레이드 가능한 Film Monitor Module 등 다양한 액세서리를 제공합니다. 요약하면, SIH-4545는 다재다능하고 안정적이며 강력한 스퍼터링 기계입니다. 광범위한 기능을 통해 대형 기판에 대한 고품질, 정확한 박막 증착이 가능합니다. 다양한 마이크로일렉트로닉 (Microelectronic) 장치 제작 어플리케이션에 적합한, 사용자 친화적인 제품으로, 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다.