판매용 중고 ULVAC SIH-450 #9313935

ULVAC SIH-450은 다양한 어플리케이션을 위해 ULVAC에서 설계 및 제조 한 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 가장 어려운 진공 증착 응용 프로그램에서 안정적이고 일관된 스퍼터링 (sputtering) 처리를 제공하도록 설계되었습니다. SIH-450은 반응성 및 비활성 스퍼터링, 마그네트론 스퍼터링 증착을위한 1 소스 솔루션입니다. ULVAC SIH-450의 작동 가능한 면적은 800mm x 600mm이며, 증착 후 공정 모두에서 일관된 웨이퍼 냉각이 가능한 통합 싱커와 함께 제공됩니다. 온도 균일 (+/- 0.5 ° C) 로이 단위는 프로세스가 매우 균일 한 스퍼터 강착을 제공하기 위해 최적화 된 온도 및 압력 인 것을 보장합니다. 이 기계는 각 타겟에 대해 독립적인 전원 제어 및 최대 12kW의 DC 전원이 장착되어 있습니다. 또한 정밀한 이온 클리닝 및 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 지원할 수있는 이온 소스가 있습니다. 또한 SIH-450에는 강력하고 신뢰할 수있는 터보 분자 펌프가 장착되어 ULVAC All-MFC (Monitored Flow Control) Consistent Sputter Deposition 컨트롤에 합류하여 정확한 몰 흐름 제어를 보장합니다. 이 도구는 진공 수준, 공정 압력, 온도, 시간 등 다양한 조절 가능한 챔버 (chamber) 매개변수를 제공하며, 모두 제어하고 모니터링하기가 매우 쉽습니다. 이 자산에는 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 가 장착되어 있어 수스 (sooth) 작업을 제어하고 실시간 프로세스 데이터를 제공하고 원격 액세스를 허용합니다. ULVAC SIH-450은 박막 증착에서 두꺼운 필름 증착까지 PVD 및 CVD와 같은 광범위한 프로세스와 스퍼터링 Si, Si-Ge, Si-C 및 기타 기판을 포함 할 수 있습니다. 탁월한 제어 성능, 간편한 운영, 낮은 운영 비용을 지닌 SIH-450 은 안정적이고 경제적인 방식으로, 프로세스 생산성을 높이고 주기 (cycle) 시간을 단축해 줍니다.