판매용 중고 ULVAC SIH-350-T06/C08 #9107297

ULVAC SIH-350-T06/C08은 산업 및 연구 응용을위한 최고 품질의 금속 증착을 달성하기 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 다양한 구성 (configuration) 을 통해 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있는 사용자 지정 기능이 뛰어난 시스템입니다. 이 장치에는 6 인치 웨이퍼 로드 락 챔버 (wafer loadlock chamber) 가 장착되어 있어 적재 시간이 최소화되어 샘플을 신속하게 처리 할 수 있습니다. 또한 초고속 진공 펌핑 속도를 허용하는 고효율 터보 분자 펌핑 머신 (turbo-molecular pumping machine) 이 특징입니다. 이 도구 에는 다양 한 금속 과 화합물 을 "기판 '에 적용 할 수 있는 독특 한" 스퍼터' 원 이 들어 있다. 이 자산은 또한 증착 프로세스를 모니터링하기위한 고해상도 디지털 이미징 (digital imaging) 모델을 갖추고 있습니다. 최고 수준의 성능을 제공하기 위해 ULVAC SIH-350-T06/C08은 교류 (AC) 스퍼터링, 직류 (DC) 스퍼터링, 고속 스퍼터링 및 고출력 스퍼터링을 포함한 광범위한 스퍼터링 기술을 지원합니다. 이 장비는 또한 이온 빔 밀링 (ion beam milling) 과 이온 빔 에칭 (ion beam etching) 을 포함하여 다양한 이온 빔 소스를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스의 온라인 특성화가 가능하도록 현장 내 도량형 장치 (in situ metrology unit) 가 장착 될 수도 있습니다. 이 기능은 산업 응용 프로그램에 특히 유용하며, 예금 공정의 실시간 모니터링 및 피드백 (feedback) 을 허용합니다. 이 기계는 다양한 도구 기능을 제어하고 다른 시스템과의 통합을 위한 다양한 고급 소프트웨어 옵션 (advanced software options) 을 제공합니다. 뛰어난 기술 외에도 ULVAC SIH-350-T06/C08은 사용 편의성을 위해 설계되었습니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 다양한 스퍼터링 매개변수를 제어할 수 있는 레시피를 빠르게 만들 수 있습니다. 이 자산에는 유지 관리 프로세스를 간소화하는 자체 진단 모델도 내장되어 있습니다. 또한, 이 장비는 최대 가동 시간 (uptime) 을 고려하여 설계되었으며, 자동 자가 청소 시스템 (Automated Self-Cleaning System) 과 같은 기능을 통해 최고 수준의 샘플 안정성을 보장합니다. 전반적으로 ULVAC SIH-350-T06/C08은 광범위한 산업 및 연구 어플리케이션에서 금속 증착 프로세스에 대한 최고 수준의 성능 및 편리성을 제공합니다. 매우 효율적이고 맞춤형 구성이 가능한 장치로서, 다양한 기능과 구성 옵션을 제공하여 생산성을 극대화합니다 (영문).