판매용 중고 ULVAC SIH-3030 #9078344

ULVAC SIH-3030은 고급 진공 기술의 리더 인 ULVAC에서 생산 한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 R&D 및 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 를 위해 설계된 다재다능하고 안정적인 스퍼터링 장치입니다. 500V에서 최대 5 킬로와트에 도달 할 수있는 강력한 DC 스퍼터링 전원 공급 장치가 있습니다. 2 ~ 4 개의 타겟을 지원할 수 있으며, 다중 레이어 증착 또는 이중 대상 적층이 가능합니다. 고정밀 폐쇄 루프 제어 (high-precision closed loop control) 와 결합하여, 이 장치는 최고 수준의 균일성을 유지하면서 뛰어난 스퍼터 수율을 제공 할 수 있습니다. 4 개의 독립적 인 틸팅 건은 동시에 2 개 또는 3 개의 공정 챔버를 감독 할 수 있으며, 공정 시간을 줄이고 처리량을 증가시킵니다. 모듈식 설계를 통해 고객의 요구에 따라 구성을 사용자 정의할 수 있으며, 필름 두께 모니터링 (Film Thickness Monitoring), 리모콘 (Remote Control), 사전 설정된 배치 레시피 (Pre-set Deposition) 등의 표준 옵션이 제공됩니다. 또한, 고급 자동화 기능을 통해 최대 200 개의 스퍼터링 레시피 (sputtering recipe) 및 여러 가스 제어 기능을 관리할 수 있습니다. SIH-3030 은 또한 사용자 친화적 인 GUI 인터페이스를 통해 운영자가 단일 콘솔에서 신속하게 매개 변수를 설정하고 제어할 수 있습니다. 사용하기 쉬운 메뉴를 사용하면 압력, 위치, 방전 시작, 가스 흐름 등 여러 변수를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 컴퓨터에는 프로세스 진행 상황을 추적하고 운영 효율성을 보장하기 위해 여러 카메라에 연결할 수있는 고급 모니터링 모듈 (Advanced Monitoring Module) 이 있습니다. ULVAC SIH-3030 스퍼터링 도구는 물질을 기판에 스퍼터링하기위한 강력하고 효율적인 도구입니다. 모듈식 설계, 고도의 정밀 제어, 고급 자동화 기능을 통해 프로세스 시간을 대폭 단축하면서 탁월한 결과를 얻을 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스와 고급 모니터링 자산을 갖춘 SIH-3030 은 고객의 모든 스퍼터링 (sputtering) 요구 사항을 충족하는 안정적이고 경제적인 솔루션입니다.