판매용 중고 ULVAC SIH-3030 #9067203

ULVAC SIH-3030은 다양한 물리적 증기 증착 (PVD) 기술에 사용되는 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 단일 (single) 및 다중 (multiple) 타겟 프로세스에서 뛰어난 위치의 정확성, 뛰어난 균일성 및 향상된 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. SIH-3030 스퍼터링 시스템의 올인원 (All-in-one) 설계에는 표준 하중 잠금 장치 및 챔버에 완전히 통합 된 인접한 샘플 보트가 포함됩니다. 큰 챔버는 접근하기 쉬운 349 mm의 관대 한 축 길이와 2 개의 힌지 (hinge) 도어를 제공합니다. 조절 가능한 폐쇄 사이클, 가변 주파수 터보 분자 펌핑 장치는 스퍼터링 챔버에서 최소 기본 압력 1.6x10-4 Pa를 보장합니다. ULVAC SIH-3030은 최대 3 개의 스퍼터링 소스를 동시에 사용할 수 있으며, 장기 적용을 위해 지속적인 음극 로딩 작업을 유지할 수 있습니다. SIH-3030 스퍼터링 머신은 증착 속도와 균일성을 최대화하기 위해 다양한 조정 가능한 작동 매개변수를 가지고 있습니다. 이러한 매개변수에는 0-400 C의 온도 제어, 조정 가능한 소스-기판 거리, 고정 DC 전원 공급 장치 또는 향상된 접착 및 표면 텍스처링을 위해 선택적 AC 기판 바이어스 중에서 선택할 수 있습니다. 이 도구에는 더 나은 필름 균일성을 위해 이온 폭격 수준을 최적화하기 위해 프로그래밍 가능한 정전기 방패가 포함되어 있습니다. 향상된 기판 처리를 위해 에셋에는 기판 냉각선 (기판 냉각선) 과 조절식 기판 난방선 (옵션) 이 기본으로 제공되어 재료 탈착이 향상되었습니다. ULVAC SIH-3030 의 고급 안전 모델 (Advanced Safety Model) 은 챔버 상태를 모니터링하고 잠재적인 전원 서지로부터 구성 요소를 보호하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 장비의 터치 스크린 컨트롤러는 간단한 작동과 빠른 운영 시간을 보장합니다. SIH-3030 스퍼터링 시스템은 반도체, 항공 우주, 자동차 및 평면 패널 디스플레이 산업의 영화 연구 및 제작에 이상적입니다. 고급 기능과 안정적인 성능을 통해 다양한 PVD 어플리케이션을 선택할 수 있습니다.