판매용 중고 ULVAC SH-550 #9118829

ULVAC SH-550은 국제 산업 및 과학 기구 제조업체 인 울박 (ULVAC, Inc.) 이 박막 증착 공정에 사용하기 위해 개발 한 스퍼터링 장비입니다. 이 기술은 DC 및 RF 전력을 결합하여 뛰어난 스퍼터 결과를 얻는 하이브리드 스퍼터 이온 소스 기술을 기반으로합니다. 이 시스템은 2 개의 독립적 인 코팅 소스로 구성되며, 이 코팅 소스는 독립적으로 또는 조합하여 작동하며, 고정밀 박막 증착을 제공합니다. SH-550은 전체 공간이 50 × 30 센티미터 인 소형 디자인입니다. 이온 총, 마그네트론, 평면 마그네트론, DC 마그네트론과 같은 다양한 스퍼터링 구성 요소를 자랑합니다. 이러한 컴포넌트는 모두 접촉이 없으며, 원하는 위치로 쉽게 이동할 수 있습니다. ULVAC SH-550은 또한 수명이 긴 전원 공급 장치 및 특수 가스 박스 (gas box) 를 갖추고 있으며, 이는 공정 가스의 소비를 줄이는 데 도움이됩니다. 스퍼터링 공정은 진공 챔버에서 수행되며, 상부 챔버는 최대 5 Pa, 하단 챔버는 최대 10 Pa입니다. 기판 홀더는 조절 가능하며 최대 200 × 200 밀리미터 크기의 기질을 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 로드/언로드 메커니즘을 특징으로하므로 일괄 처리 작업에 적합합니다. 컴퓨터에는 그래픽 사용자 친화적 인 인터페이스 (GUI) 가 제공되어 운영자가 도구를 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 또한, 분광학, 소음 모니터링, 온도학을 포함한 다양한 현장 진단을 현장 내에서 수행하여 필름 두께, 균일성 및 성능을 측정 할 수 있습니다. SH-550은 알루미늄, 황동, 티타늄, 몰리브덴 및 텅스텐과 같은 물질을 증착 할 수있는 다양한 옵션 성분을 제공합니다. 씬 필름의 연구, 개발 및 산업 규모 생산에 적합합니다. 더욱이, 이 자산은 다중 용도에 적합하므로 다양한 증착 응용 프로그램에 이상적입니다. 결론적으로, ULVAC SH-550은 연구와 생산을 위해 설계된 안정적이고 고급 스퍼터링 모델입니다. 컴팩트한 디자인, 뛰어난 공정 제어 (process control), 다양한 옵션 구성 요소를 자랑하는 다목적 툴로, 다양한 증착 응용프로그램 (deposition application) 을 위해 배포할 수 있습니다.