판매용 중고 ULVAC SH-550 #9078338

ULVAC SH-550 (ULVAC SH-550) 은 다양한 대상 재료, 기판 및 최종 제품으로 뛰어난 코팅 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 13.56MHz-RF (13.56MHz-RF) 및 저주파 DC 스퍼터 소스가 장착되어 있으므로 다양한 금속의 박막을 다양한 기판에 배치 할 수 있습니다. 독점적 인 AEBS (Advanced Electrode Balance Unit) 는 넓은 영역 기판보다 균일 한 두께를 유지하고 더 작은 기판에서 박막을 정확하고 반복 할 수있는 적용을 지원합니다. SH-550은 유리 이미징, 밀봉, 수동화 및 장식 필름과 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다. 또한 최적의 플라즈마 밀도 레벨을위한 통합 챔버 가스 (chamber gas) 컨트롤과 스퍼터링 매개변수를 정확하게 제어하기위한 WINDEX-V1 컨트롤러가 있습니다. 여러 대상이 있는 RF 소스에는 빠르고 쉬운 대상 변경을 위해 QCS (Quick-Change Source) 가, 편리한 기판 로드 및 언로드를 위해 회전 가능한 소스 홀더가 있습니다. 이 기계에는 챔버 및 대상 기판 인터페이스의 밀봉이 가능한 AUTO-SEAL 기능이 제공됩니다. AUTO-SEAL 기능은 오염을 피하고 코팅 수율을 향상시킵니다. 이 도구는 완전 자동화 진공 자산 (fully automated vacuum asset) 을 사용하여 스퍼터 프로세스를 신속하게 대피하고 정확하게 제어합니다. ULVAC SH-550은 낮은 진동 스퍼터 증착 플랫폼을 가지고 있으며, 낮은 접촉 저항과 함께 균일하고 고정밀 한 필름 증착을 허용합니다. 이 모델은 조정 가능한 수율 및 압력 프로파일 표시기 (pressure profile indicator) 를 제공하여 프로세스를 최적화하고 온도 드리프트를 줄입니다. 이 장비에는 또한 최대 스퍼터링 수율과 고정밀 성능을 보장하는 충돌 방지 (collision protection) 기능이 있습니다. SH-550 은 최대 400 ° C 의 온도에서 안정적이고 효율적인 작동을 위해 설계되었으며, 운영자와 환경을 모두 보호하기 위해 다양한 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 제공합니다. 여기에는 프로세스 조건을 모니터링하고 안전하지 않은 작동 조건을 알려주는 Vacuum Level Guard 및 Pressure Sensor With Alert가 포함됩니다. 또한 ESD 보호 장치 (ESD Protection Device) 가 내장되어 있어 잠재적인 모든 정전기나 손상으로부터 시스템을 보호할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC SH-550은 다양한 어플리케이션에 비해 뛰어난 코팅 성능을 제공하는 고성능 스퍼터링 장치입니다. 이 기계는 반복 가능한 결과가있는 정밀 박막 증착을 제공하며, 통합 안전 기능은 안정적이고 안전한 작동을 보장합니다.