판매용 중고 ULVAC SH-450H-C10 #9313937

ULVAC SH-450H-C10은 직류 마그네트론 스퍼터링 장비로, 다양한 재료의 박막을 만드는 데 사용할 수 있습니다. 3 개의 총, 이중 챔버 장치이며 강력한 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 이 장치는 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 와 함께 매우 자동화되어 운영자가 쉽게 스퍼터링 매개변수를 선택하고 수정할 수 있습니다. SH-450H-C10에는 작동 압력 6x10 '³ ~ 4x10' Pa를 유지할 수있는 높은 진공 챔버가 있습니다. 2.5 또는 4kW의 강력한 전원 공급 장치로 구동되며, 전력을 6kW로 확장하여 빠른 스퍼터 증전율을 가능하게합니다. 3 개의 6 인치 EUV 대상이있는 다양한 대상 재료에 적합한 대형 스퍼터링 블래스트 챔버가 있습니다. 챔버에는 4 인치 웨이퍼 호환 벨 항아리도 장착되어 있습니다. ULVAC SH-450H-C10에는 사각형 조리개가있는 두 개의 광학 시스템이 있습니다. 첫 번째는 내부 슬릿을 가진 타원형 컬렉터이고, 다른 하나는 쿼츠 크리스탈 모니터 (Quartz Crystal Monitor) 이며, 프로세스 매개변수 및 품질 보증을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 기계는 또한 안정적인 공정을 보장하기위한 통합 극저온 냉각 도구를 가지고 있습니다. 또한 SH-450H-C10에는 3 개의 총 메커니즘이 있습니다. 3 개의 총 중 Central Apex Gun Asset에는 슬롯 링 마그네트론이 있고 다른 2 개의 총에는 다이어프램 플랫 마그네트론이 있습니다. 이 모델은 또한 높은 진공 장내 가스 분사 (high vacuum entential gas injection) 또는 저압 가스 슈라우드 (low pressure gas shroud) 를 사용하여 광범위한 반응성 가스 스퍼터링을 제공합니다. 전반적으로, ULVAC SH-450H-C10은 전도성, 반 전도성 및 유전성 물질의 박막 증착과 같은 DC 자기 스퍼터링 응용을위한 강력하고 다재다능한 장비입니다. 높은 증착율, 낮은 오염, 좋은 처리량, 작은 입자 생성의 조합을 제공하여 전자 공학, 광학, 나노 과학, 엔지니어링 등 다양한 분야의 재료 증착에 이상적인 선택입니다.