판매용 중고 ULVAC SH 450 #9133526

ULVAC SH 450은 일본 증착 시스템 제조업체 인 ULVAC Technologies가 설계 한 정교한 스퍼터링 장비입니다. SH 450은 초고진공 (UHV), 고진공 (HV) 및 저압 (LP) 환경과 같은 다양한 증착 대기를 제공 할 수 있습니다. 금속, 유전체, 유기물 등 다양한 물질에 대한 효율적인 증착 공정을 제공합니다. ULVAC SH 450은 음극 스퍼터링을 사용하여 기판에 단계별 재료 층을 구축하는 DC 스퍼터링 증착 시스템입니다. 요컨대, 이 장치 는 음극 표적 을 사용 하여 "이온 '으로 기질 을 폭격 하는데, 이" 이온' 은 표적 물질 을 흥분 시켜 기화 시킨다. 이온화 된 기화 된 대상 입자는 기판 표면에 응축되어 얇고 균일 한 층을 형성합니다. SH 450에는 각각 최대 3.6kW의 전력을 스퍼터링 할 수있는 2 개의 소스가 장착되어 있습니다. 또한, 멀티 소스 작업이 가능하여 최대 4 개의 소스를 사용하여 동시에 스퍼터링 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 기계 에는 물질적 특성 을 개선 하기 위해 산소, 질소, "아르곤 '과 같은 반응성 있는" 가스' 를 도입 할 수 있는 독립 "가스 '주입 도구 가 들어 있다. 에셋은 기판 가열을위한 유연한 플랫폼을 제공하며, 최대 온도는 최대 400 ° C입니다. 또한 순차, 수평 또는 수직 스퍼터링을 허용하는 특수 설계된 마운팅 모델도 제공됩니다. 또한, ULVAC SH 450에는 데이터 획득 장비와 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스가 포함되어 있어 프로세스 제어를 자동화할 수 있습니다. 앞서 언급한 기능 외에도, SH 450 은 안전하고 안정적인 운영을 보장하는 여러 가지 통합 안전 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 비상 정지 기능, 과잉 응력 보호기 및 뒷면 지원 시스템이 포함됩니다. 이 모든 기능을 통해 소형 (small sample) 에서 대규모 (large scale) 생산 (production) 에 이르기까지 다양한 제작 프로세스에 적합합니다. ULVAC SH 450은 고온 증착 공정, 유연한 기판 난방, 완전한 증착 공정에 대한 신뢰할 수있는 안전 기능을 결합한 스퍼터링 머신입니다. 다양한 재료와 기판에 적합하며, 소형 샘플 제작 (small sample fabrication) 과 대규모 생산 (large-scale production) 모두에 적합합니다.