판매용 중고 ULVAC SH 450 #9132015
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ULVAC SH 450 Sputtering Equipment는 오늘날의 반도체, 평면 패널 디스플레이, 데이터 스토리지 시장에서 사용되는 고성능 스퍼터링 기술입니다. 처리량 (throughput) 과 수율 (revield) 을 극대화하기 위해 설계된 이 제품은 연구와 볼륨 생산에 모두 적합합니다. 대용량 (450 mm) 은 더 높은 수율을 허용하며, 한 번에 처리 할 수있는 부품의 총 면적을 결정합니다. 또한, SH 450 시스템은 광범위한 프로세스 운영을 자랑하여 다양한 종류의 생산에서 매우 효율적입니다. 강력하고 정확한 ULVAC SH 450에는 4열 자동 로더 (Automatic Loader) 와 같은 강력한 기능들이 장착되어 있어 대용량 소재 로딩이 가능합니다. 이 기계는 또한 대용량, 저진동 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 및 작업 압력을 정확하게 제어하기위한 조정 가능한 진공 압력 제어 장치 (vacuum pressure control unit) 를 갖추고 있습니다. ULVAC 최고 품질 표준에 따라, 진동이없는 오염 없는 환경을 가지고 있습니다. 작동을 용이하게 하기 위해 SH 450에는 사용자 친화적 인 터치 패널 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 실시간 흑백 (Monochromator) 기반 호 광 모니터링 도구를 제공하며, 이 도구는 파장 선택 램프를 사용하여 스퍼터링 프로세스를 실시간으로 모니터링합니다. 이러 한 특징 은 휘발성 물질 과 산화물 층 이 기질 에서 제거 되는 데 필수적 이다. 그렇다. ULVAC SH 450은 스퍼터링, 증기 증착, 결합, 에칭 및 연마 연마 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 실리콘, 갈륨 비소, 유리, 금속, 석영 및 기타 재료와 같은 다양한 기질과 호환됩니다. 또한 다양한 아키텍처를 통해 압력, 온도, 가스 농도, 유속 등 다양한 프로세스 매개 변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 추가 보너스로서, 자산은 프로세스 최적화 및 자동화를 허용하는 통합 프로세스 관리 모델 (Integrated Process Management Model) 도 갖추고 있습니다. 전반적으로 SH 450 Sputtering Equipment는 처리량을 극대화하고 생산할 수 있도록 설계된 인상적인 도구입니다. 강력한 기능, 대용량 (High Capacity), 다양한 프로세스 작업을 통해 연구와 생산에 이상적입니다. 또한 손쉬운 터치 패널 인터페이스 (touch panel interface) 와 직관적인 가스 흐름 제어 시스템 (gas flow control system) 을 통해 모든 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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