판매용 중고 ULVAC SH-450-T10 #9156843

ULVAC SH-450-T10은 반도체 장치 제조에서 필름 재료를 증착하도록 설계된 High Power DC 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 단일 스핀들과 RF 바이어스 기판 전원 공급 장치가 특징입니다. SH-450-T10에는 설치 및 사용이 간편한 컴팩트한 디자인이 있습니다. 이 시스템은 고출력 RF 마그네트론을 사용하여 필름 증착에 최대 450W DC 전력을 공급할 수 있습니다. RF 마그네트론 스퍼터 소스는 조절 가능하며 두 개의 독립적 인 작동 모드 (선형 모드 및 전체 버스트 모드) 가 있습니다. 선형 작동 모드에서 ULVAC SH-450-T10은 균일 한 필름 두께와 반복 가능한 성능을 위해 더 낮고 최적화 된 전력 수준에서 작동 할 수 있습니다. 전체 버스트 모드에서이 장치는 더 큰 영역 증착을 위해 더 높은 증착률을 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 펄스 모드 (Pulse Mode) 호 억제 도구를 갖추고 있으며, 이는 높은 전력 작동과 향상된 기판 냉각 자산과 관련된 호출을 줄입니다. SH-450-T10은 스퍼터 속도를 줄이고 필름 접착을 개선 할 수있는 RF 바이어스 소스를 갖추고 있습니다. RF 바이어스 파워는 최대 400 와트를 독립적으로 제어하며, 스퍼터링 과정에서 이온 플럭스 (ion flux) 에 대한 뛰어난 제어를 제공합니다. 또한, RF 전력 변조를 사용하여 표적에 걸친 증착 균일성을 최대화 할 수 있습니다. 보안 데이터 관리 장비 (Secure Data Management Equipment) 가 포함되어 있어 증착률, 두께, 주기 시간 등 들어오는 웨이퍼에 모든 데이터를 저장할 수 있습니다. 이 데이터는 안전하게 저장되므로, 공인 직원이 개별 웨이퍼에 대한 설정을 액세스하고 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 사전 정의 된 레시피가있는 완전 자동화 된 중앙 제어 장치도 포함되어 있습니다. ULVAC SH-450-T10 마그네트론 스퍼터링 머신은 뛰어난 필름 증착 특성을 제공하는 고출력 DC 스퍼터링 도구입니다. 조절 가능한 RF 마그네트론 (Magnetron), RF 바이어스 소스 (Bias Source) 및 자동화된 중앙 제어 자산은 탁월한 정확성과 재현성을 제공하는 반면, 데이터 관리 모델은 안전한 데이터 저장 및 검색을 지원합니다. 이 장비는 대용량 생산을 위한 탁월한 성능과 반복 기능을 제공합니다.