판매용 중고 ULVAC SH-350EL-C06 #9078346

ULVAC SH-350EL-C06은 ULVAC Inc.에서 설계 및 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 한 단계 로 기판 에 박막 을 놓는 데 사용 할 수 있는 "멀티챔버 '" 시스템' 이다. 산업 규모 배치 처리에 적합하며 반응성 스퍼터링, DC 반응성 마그네트론 스퍼터링, 반응성 이온 에칭, 이온 빔 증착과 같은 다양한 프로세스를 지원합니다. SH-350EL-C06은 수동 전송 장치, 공정 챔버, 기판 홀더/쿨러 및 로드 로커가있는 대피 된 메인 챔버로 구성됩니다. 주 챔버에는 챔버 압력 게이지 (chamber pressure gauge), 수냉식 패널 (water-cooled panel) 및 다양한 연결 프로세스 챔버를 허용하는 로드 잠금 포트 (load lock port) 및 스로틀 밸브 (throttle valv) 와 같은 다양한 포트가 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 퇴적 물질에 따라 최대 4 개의 목표, 챔버 바닥에 연결된 진공 펌프 (vacuum pump) 및 챔버 지붕을 감싸는 쿼츠 샤워 헤드 (quartz showerhead) 를 장착하여 균일 한 퇴적을 보장합니다. 챔버는 DC 또는 RF 구동 소스로 작동 할 수 있습니다. 기판 홀더/쿨러는 최대 2 개의 기판을 수용하도록 설계되었으며, 그 사양은 조정 가능합니다. 홀더는 최대 700 x 700mm 기판을 수용 할 수 있으며, 온도 센서를 장착하여 섭씨 10도에서 40도 사이의 기판 온도를 모니터링하고 유지합니다. 또한, 기판 홀더에는 회전 디스크 베이스가 있으며, 접촉하지 않는 서셉터가 장착되어 있으며, 평면 내 '기울기 회전' 메커니즘은 증착 중에 경사 각도 또는 회전 각도가 필요해야합니다. 마지막으로, 로드 로커는 전면 개방식 게이트 (front openable gate) 로 설계되어 프로세스를 중단하지 않고 기판을 로드/제거할 수 있습니다. 그것 은 기판 의 매끄러움 이 변하지 않도록 "쿼츠 '나" 알루미나 라이너' 를 갖추고 있다. 또한, 락 챔버 (Lock Chamber) 는 석영 물개를 통해 최대 4 개의 하중을 동시에 수용 할 수 있으며, 이는 잔여 대기 기체와의 산화 또는 반응을 방지하기 위해 산소가없는 환경을 제공합니다. 요약하면, ULVAC SH-350EL-C06 멀티 챔버 스퍼터링 장치는 산업 규모 배치 처리에 적합하며, 다양한 증착 공정을 허용하는 다양한 옵션을 제공합니다. 직관적 인 "디자인 '과 특징 때문 에 사용 하기 쉽고, 닫힌 기계 때문 에 효율적 이다. 신빙성 있고 견고 한 "스퍼터링 '도구 가 필요 한 사람 들 에게" 박막' 증착 을 위한 훌륭 한 선택 이다.