판매용 중고 ULVAC SH-350 #9145272

ULVAC SH-350은 산업용으로 설계된 견고하고 고품질의 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 소형 설계를 통해 다양한 산업 생산 라인에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 최대 350W 전력을 공급할 수 있는 강력한 rf-source (rf-source) 를 활용하여 시중의 다른 스퍼터링 시스템 중 최고 전력 수준 중 하나입니다. SH-350은 소스, 챔버 및 진공 펌프의 3 가지 주요 구성 요소로 설계되었습니다. 이 소스는 빠르고, 강력하고, 신뢰할 수있는 모듈로, 높은 속도의 스퍼터링을 생산할 수 있습니다. 이 장치 의 "챔버 '는 쉽사리 접근 할 수 있도록 설계 되어 있으며, 쉽고 신속 한 유지 관리 및" 컬러 코우팅' 을 할 수 있다. 또한 높은 빔 각도 (beam angle) 로 설계되어 균등하고 효율적인 스퍼터링 프로세스를 보장합니다. ULVAC SH-350에는 터보 분자 펌프와 cryo-pumps의 조합을 포함하는 고급 진공기가 있습니다. 이 조합은 5 x 10 ^ -7 Pa의 낮은 진공과 높은 증착률을 보장합니다. 또한, 이 도구는 최대 100 'C의 온도 제어를 제공하며, 고급 온도 제어 자산으로 특정 온도에 도달하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, SH-350은 고급 필터링 (advanced filtering) 과 누출 및 오염을 제거하는 폐쇄 된 펌핑 모델 (closed pumping model) 을 특징으로하여 높은 진공 환경에서 사용하는 데 적합합니다. 또한, 자동 압력 제어 장비 (Automatic Pressure Control Equipment) 가 장착되어 있어 스퍼터링 작업 중 지속적인 조정뿐만 아니라 정밀한 압력 조절이 가능합니다. 전반적으로 ULVAC SH-350은 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 시스템으로, 산업 생산 프로세스에 적합합니다. 고급 디자인과 내장 기능은이 장치를 높은 스퍼터링 레이트 (sputtering rate) 와 균일 한 코팅을 제공 할 수 있습니다.