판매용 중고 ULVAC SDP-S 1550VM #293753561

ULVAC SDP-S 1550VM은 다양한 연구 및 산업 응용 분야에서 정확한 박막 증착을 위해 설계된 고성능, 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 필름 품질, 높은 처리량, 탁월한 프로세스 제어를 위한 최첨단 (최첨단) 기술을 갖추고 있습니다. SDP-S 1550VM은 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 물질을 스퍼터링할 수있는 다재다능한 구성을 특징으로합니다. 이 장치는 탁월한 균일성과 두께 제어를 가진 필름을 증착 할 수 있으며, 반도체 장치 제작, 광학 코팅 (optical coating), 센서 개발 (sensor development) 과 같은 정밀한 레이어 증착이 필요한 응용 분야에 적합합니다. ULVAC SDP-S 1550VM의 주요 특징 중 하나는 대형 증착실로, 직경이 최대 200mm 인 다양한 크기의 기판을 수용합니다. 이를 통해 사용자는 R&D 목적의 작은 샘플에서 생산 규모의 웨이퍼에 이르기까지 다양한 기판에 필름을 배치 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고정밀 기판 단계 (high-precision substrate stage) 를 갖추고 있어 증착 과정에서 정확한 위치 지정 및 회전을 보장하며, 전체 기판 표면에서 일관된 필름 품질을 제공합니다. SDP-S 1550VM은 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 를 통합하여 대상 물질에서 기판 표면으로 스퍼터링 된 금속 이온으로 구성된 플라즈마를 생성합니다. 마그네트론 소스에는 고급 전원 공급 장치 (Advanced Power Supply) 와 제어 시스템 (Control System) 이 장착되어 있어 스퍼터링 프로세스 매개변수 (Target Power, Gas Flow Rate, Pressure) 를 정확하게 튜닝할 수 있습니다. 이러한 제어 수준을 통해 사용자는 필름 특성 (예: 컴포지션, 두께, 형태) 을 조정하여 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 외에도, RF 및 DC 스퍼터링을 포함한 여러 스퍼터링 소스로 ULVAC SDP-S 1550VM을 구성 할 수 있으며, 서로 다른 재료의 공동 스퍼터링 및 다층 필름의 증착을 허용합니다. 이 기능은 공구의 다양성을 향상시키고 광학 필터, 배리어 코팅 (barrier coating), 자석 박막 (magnetic thin film) 과 같은 고유한 특성을 가진 복잡한 필름 구조를 생성할 수 있습니다. SDP-S 1550VM에는 그래픽 터치스크린 디스플레이 (Graphical Touchscreen Display) 를 통해 배치 프로세스를 직관적으로 제어할 수 있는 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있습니다. 에셋은 일반적인 증착 프로세스에 대한 사전 프로그램 된 레시피와 함께 제공되며, 특정 재료 시스템 (material systems) 과 필름 (film) 속성에 맞춘 맞춤형 레시피를 만들 수 있습니다. 실시간 모니터링 (Real-time monitoring) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 사용하면 배치 프로세스 매개변수를 추적하고 품질 관리 및 최적화를 위한 필름 특성을 분석할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC SDP-S 1550VM은 최첨단 스퍼터링 모델로, 광범위한 연구 및 산업 분야에서 정확한 박막 증착을위한 고급 기능을 제공합니다. 고성능 기능, 다양한 구성, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖춘 이 장비는 연구원과 제조업체에 뛰어난 영화 품질을 달성하고 최신 박막 기술의 까다로운 요구 사항을 충족하는 데 필요한 도구를 제공합니다.