판매용 중고 ULVAC SDP-850 #9379484
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ID: 9379484
Sputtering system
(3) MITSUBISHI RH-L4B Robots
(7) ULVAC TMP3003LM Turbo pumps
(14) ULVAC Dry pumps
(9) ITO Target chambers.
ULVAC SDP-850은 매우 정확한 필름 증착 응용을 위해 설계된 스퍼터 증착 장비입니다. 이 시스템은 ULVAC 기존 마그네트론 스퍼터링 기술과 새로 통합 된 PI 기술을 결합하여 균일 한 영화, 심지어 높은 정확도를 가진 영화를 생산합니다. 주요 스퍼터링 소스는 매우 광범위한 물질에 대해 우수한 플라즈마 제어를 제공합니다. 이렇게 하면 유속 과 재료 가 다양 하더라도, 매우 정밀 하면서도 일관성 있고 신뢰 할 수 있는 "필름 '증착 을 보장 할 수 있다. 이 장치는 터치스크린 PLC (Touchscreen PLC) 에서 관리되고 작동되며, 사용자는 다양한 시스템 기능을 제어하기 위해 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공합니다. 또한 SDP-850은 챔버 내에서 지속적인 진공 환경을 유지하여 진공 증착 효율을 높이고 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. 도구의 또 다른 특징은 세라믹 밀폐 보트 음극 (ceramic enclosed boat cathodes) 의 사용으로, 봉인 된 상태로 인해 쉽게 작동 및 유지 보수가 가능합니다. 안전은 ULVAC SDP-850 디자인에 통합 된 중요한 요소입니다. 이는 그라운드 커넥터 (grounding connector) 와 다양한 이오나이저 (ionizer) 및 마그네틱 실드 (magnetic shield) 가 장착되어 있어 플라즈마 충격으로부터 인원과 장비를 효과적으로 보호하기 때문입니다. 이중가스 제어 (Dual Gas Control) 자산은 추가 수준의 보안을 제공하여 저압 (Low Pressure) 과 고압 (High Pressure) 흐름을 동시에 제어하고 균일 한 가스 분배를 제공합니다. SDP-850 (SDP-850) 은 직경 300mm, 최대 두께 1000nm의 넓은 영역 기판에서 필름 증착을 수행 할 수있는 능력으로 유명합니다. 또한, 넓은 작업 영역 (working area) 을 통해 단일 프로세스 중에 동일한 기판에 여러 개의 레이어를 증착할 수 있습니다. 전반적으로, ULVAC SDP-850은 혁신적인 스퍼터 증착 모델로, 높은 정확도, 균일성, 안전성을 제공하며, 광범위한 재료 및 공정 크기를 제공합니다. 즉, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 운영 효율성과 단순성을 향상시키고, 고급 제어 및 안전 시스템을 통해 최소 (운영 체제) 의 개입을 통해 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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