판매용 중고 ULVAC SDP-651 #9379485

ID: 9379485
Sputtering system (3) MITSUBISHI RH-L4B Robots RF Generator (12) SHIMADZU TMP1500 Turbo pumps (11) ULVAC VS 2401 Dry pumps.
ULVAC-PHI, Inc.에서 제조 한 ULVAC SDP-651은 박막의 대용량 증착을 위해 설계된 고정밀도 및 비용 효율적인 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 최대 808mm, 높이 875mm, 깊이 1150mm의 작은 설치 공간을 갖추고 있습니다. 최대 24 개의 목표를 배치 할 수있는 9 인치 스퍼터링 대상이 있습니다. 이 장치는 강력한 DC (Direct Current) 전원 공급 장치로 구동되며, 박막 증착을 위해 최대 350W의 전력을 공급할 수 있습니다. 단일 프레임, 오픈 타입 대홍수 스퍼터링 건을 단일 또는 양면 대상으로 장착합니다. 단일 또는 양면 대상은 기계 유형, 전기 상승 기계 또는 수동 로딩으로 적재 할 수 있습니다. 이 도구는 최대 75mA/in2 및 20mTorr의 출력을 제공 할 수 있습니다. SDP-651에는 온도, 스퍼터링 압력, 전압 등 프로세스 조건을 모니터링하는 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 모니터링은 적외선 온도 센서, 잔류 가스 분석기, 압력 게이지, 대상 전류 모니터, 전압 전원 모니터 등을 통해 수행됩니다. 수동 또는 자동 작동을 위해 구성하여 18 가지 언어 옵션을 사용할 수 있습니다. 이 자산은 고급, 연장 된 작업 거리 감수성을 사용하여 높은 균일성과 균일 한 증착을 제공합니다. 또한 새로운 타겟 (Target) 설치 없이도 변경할 수 있는 다양한 기판 재질 및 크기 (Substrate Material and size) 를 제공합니다. 확장 된 작업 거리 (extended working distance) 는 기판이 증착 결과에 미치는 영향을 최소화하도록 설계되었습니다. ULVAC SDP-651은 최고 품질의 박막 증착 결과를 제공하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 모델에는 고효율, 균일 증착, 균일 한 두께, 고순도, 저열 변화 기능이 장착되어 있으며, 유기 및 무기 재료 응용 모두에서 박막 증착에 이상적인 선택입니다.
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