판매용 중고 ULVAC SDP-570 #9411766

ULVAC SDP-570은 박막 증착 응용 프로그램에 사용되는 최첨단 다목적 스퍼터링 장비입니다. 작은 설치 공간으로 설계된 DC (직류) 스퍼터링 시스템이므로 소규모 어플리케이션에 적합합니다. 마그네트론 스퍼터링 장치 (magnetron sputtering unit) 로서, 인상적인 힘과 높은 증착률을 제공하여 궁극적으로 고품질의 균일 한 박막을 제공합니다. 기계 는 완전 히 밀폐 된 "챔버 '로 설계 되어" 스퍼터링' 이 일어나는 환경 을 개선 시켜 준다. 공정 면적이 크고, 쉽게 조절할 수 있으며, 다양한 재료를 처리할 수 있습니다. 내장 진공 펌프를 통해 안정성과 반복성이 향상됩니다. 이 스퍼터링 머신은 DTE (Deposit Temper Evaporation) 및 PVD (Physical Vapor Deposition) 프로세스에 이상적입니다. SDP-570 스퍼터링 도구는 또한 고정밀 기계적 설계 요소를 갖추고 있습니다. 7 축 고니 오미터 (goniometer) 를 사용하면 기질의 각도, 기울기 및 스핀을 정확하게 제어하고 조정하여 일관된 필름 형성을 보장 할 수 있습니다. 고정밀 행성 운동 시스템은 프로세스 동안 부드럽고 정확한 기판 이동을 보장합니다. 또한 ULVAC SDP-570은 사용자에게 광범위한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 이중 주파수 DC 전원 공급 장치가 장착되어 있어 전력을 100 ~ 10,000 와트로 조정할 수 있습니다. 컨트롤러에는 증착 매개 변수를 더 잘 제어하기 위해 RF (무선 주파수) 와 DC 스퍼터링이 모두 있습니다. 3 구역 온도 제어를 통해 사용자는 엄격한 프로세스 온도를 유지할 수 있습니다. SDP-570 스퍼터링 자산에는 고급 안전 기능도 포함되어 있습니다. 컴퓨터에 "센서 어레이 (array of sensor)" 가 장착되어 있어 프로세스의 변경 사항을 감지하고 사용자에게 즉시 경고를 제공합니다. 또한 비상스톱 (Emergency Stop) 버튼을 통해 운영자가 필요한 경우 프로세스를 신속하고 안전하게 종료할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC SDP-570은 뛰어난 성능, 균일성 및 정확성을 제공합니다. 다양한 프로세스 매개변수, 고급 안전 기능 및 DC/RF 스퍼터링 (sputtering) 기능을 통해 박막 증착 응용 프로그램에 이상적인 선택이 가능합니다.