판매용 중고 ULVAC SDP-550 #9411768

ULVAC SDP-550은 얇은 층의 재료를 기판에 배치하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 강력한 DC/RF 마그네트론 스퍼터링 챔버와 효율적인 회전 가능한 샘플 홀더를 결합합니다. SDP-550 (SDP-550) 은 높은 균일성과 안정적인 샘플 전송을 제공하는 반면, 자동 스퍼터링 설정은 신속한 재료 선택 및 매개변수 선택을 가능하게합니다. ULVAC SDP-550의 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 2 개 또는 3 개의 타겟을 수용하며, 이는 회전 가능한 스터브 또는 슬라이드에 장착됩니다. 모든 챔버 (chamber) 부품은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 챔버 (chamber) 는 퇴적 재료의 축적을 최소화하도록 설계되었습니다. 증발 챔버는 샘플 전용 증발에도 사용할 수 있습니다. 이것은 고순도 금속 층 및 코팅 재료의 증착에 사용될 수 있습니다. SDP-550은 광범위한 증착 소스를 제공합니다. 여기에는 DC 마그네트론 스퍼터링, RF 마그네트론 스퍼터링, 전자 빔 증발, 멀티 폴 DC 마그네트론 스퍼터링, 방향 DC 마그네트론 스퍼터링, 반응성 DC 마그네트론 스퍼터링, 이온 빔 스퍼터링, 정지 된 대상 스퍼터링 및 레이저 유도 증착이 포함됩니다. 모든 증착 소스는 전체 샘플 적용 범위를 위해 쉽게 설치 및 구성 할 수 있습니다. 기판 전체에 걸쳐 증착의 균일성을 보장하기 위해, ULVAC SDP-550에는 특수 샘플 홀더가 장착 될 수있다. 이것은 표적 그림자를 최소화하여 전체 샘플 서피스에서 균일 한 증착을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 또한 뛰어난 전기 연결성 및 높은 샘플 회전 정확도를 제공하는 2 단계 척이 포함되어 있습니다. SDP-550에는 안전 진공 인터 록 (Safety Vacuum Interlock), 커버 오프너 (Cover Opener) 및 압력 센서 (Pressure Sensor) 와 같은 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 자동 샘플 처리 장치 (automated sample handling unit) 도 사용할 수 있으며, 연산자가 샘플 카세트를 사용하여보다 효율적인 샘플 이미징 및 에칭을 수행 할 수 있습니다. ULVAC SDP-550은 광범위한 증착 방법과 높은 공정 균일성을 제공합니다. 이것은 도자기, 나노 코팅 (nano-coating), 금속, 금속 합금 (metal alloys) 과 같은 다양한 물질을 모든 유형의 기질로 증착시키는 데 이상적입니다. 자동화된 기능 (automated features) 과 안전 (safety) 기능, 그리고 전체 기판에 균일 한 증착을 제공하는 기능은 신뢰할 수있는 스퍼터링 머신을 찾는 모든 사람에게 적합한 선택입니다.