판매용 중고 ULVAC SDH-4550L #9313962

ULVAC SDH-4550L 스퍼터링 장비는 저온 반도체 증착 및 광학 박막 코팅과 같은 응용을 위해 설계된 고성능, 완전 자동화 진공 증착 장비입니다. 첨단 기능과 첨단 기술 (최첨단 기술) 을 활용하여 일관되고 균일한 품질을 제공합니다. SDH-4550L에는 인라인 스퍼터링 증착 시스템이 장착되어 있으므로 여러 개의 동시 스퍼터링 대상이 가능합니다. 이를 통해 필름을 다른 재료 조합으로 증착 할 수 있습니다. ULVAC SDH-4550L은 자동 소스 로딩 및 웨이퍼 전송 메커니즘을 갖추고 있어 빠르고 효율적인 생산 장치를 제공합니다. 이 기계는 인라인 어레이에서 최대 5 개의 타겟으로 스퍼터링 할 수 있습니다. 이 스퍼터링 어레이는 다중 대상 연산 및 다중 재료 컴포지션을 위해 두 개의 개별 스퍼터링 라인으로 구성 할 수 있습니다. SDH-4550L의 통합 컴퓨터 제어 도구를 사용하면 각 대상에 대한 다양한 스퍼터링 매개 변수를 선택, 프로그램, 모니터링할 수 있습니다. ULVAC SDH-4550L은 또한 강력한 진공 대피 및 밸빙 시스템을 갖추고 있으며, 빠르고 고품질의 진공 사이클링을 제공합니다. 듀얼 스테이지 로터리 베인 펌프를 사용하여 빠르고 효율적인 진공 대피를 만듭니다. 또한 고효율 밸빙 시스템을 포함하여 증착 중 기질 온도 및 가스 흐름을 정확하게 제어합니다. 이러한 뛰어난 기능을 통해 SDH-4550L은 재생성과 균질성이 높은 박막 (thin film) 을 제작할 수 있습니다. 또한, ULVAC SDH-4550L은 고급 RF 기판 바이어스 자산을 사용하여 박막 층의 안정화를 허용하고, 평면 내 결정 구조를 개선하고, 입자의 이동을 방지합니다. 이 모델에는 2 차 바이어스 발전기가 포함되어 있으며, 기판 바이어스 조건을 조정하면서 최대 유연성을 제공합니다. 이 기능은 특히 복잡한 산화물의 얇은 층을 생성하는 데 유용합니다. SDH-4550L 스퍼터링 장비는 고급 냉각 및 온도 조절도 제공합니다. 이 시스템에는 효율적인 수냉식 열 교환기 (water-cooled heat exchanger) 와 온도 조절 모듈 (temperature control module) 이 장착되어 있어 스퍼터링 중에 공정 온도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 더 얇은 필름을 제작하고, 폐기물을 줄이고, 스퍼터링 된 레이어 두께를 균일하게 유지할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC SDH-4550L 스퍼터링 장치는 효율적이고, 자동화되고, 고급 증착기로, 박막의 안정적인 생산을 제공합니다. 다수의 스퍼터링 대상과 고급 진공 및 냉각 시스템을 갖춘 SDH-4550L (SDH-4550L) 은 효율적이고 품질이 좋은 증착이 필요한 사람들에게 완벽한 선택입니다.