판매용 중고 ULVAC SCH-135 #9411089
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9411089
Horizontal inline sputtering system
Electrode deposition 90 sec tact
Chamber:
Loading
Heating
Isolation
Unloading
Assembly:
Vacuum
Transfer
Internal jig
Heating
Sputtering cathode
Power supply
Frame and conveyor
System:
Pumping
Operation
Measurement
Gas inlet
Compressed air
Cooling water
Spare parts.
ULVAC SCH-135는 최적의 박막 증착을 위해 설계된 고정밀 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 넓은 지역 에 대한 정확 한 조절 과 균일성 을 가진 얇은 금속, 산화물, 질화물 층 을 형성 하는 데 이상적 이다. SCH-135 (SCH-135) 는 높은 정확도의 기판 포지셔너, 정교한 컨트롤러 및 다양한 크기의 자기 스퍼터링 대상의 클러스터로 구성된 고급 단일 엔드 마그네트론 스퍼터링 장치입니다. ULVAC SCH-135 (ULVAC SCH-135) 는 다른 기존 시스템보다 높은 압력으로 증착이 가능하며 산업 박막 응용을위한 주요 도구가되었습니다. SCH-135는 고진공 (1x10-7 Pa) 에서 초고진공 (1x10-9 Pa) 까지 광범위한 압력으로 작동 할 수있는 1 차원 단방향 스퍼터링을 제공합니다. 음극 으로부터의 전자 는 "양극 '을 향해 가속 되고, 목표물 에 영향 을 주면, 그 들 은 표적 원자 들 을 분리 시켜서" 기판' 에 증착 시킨다. 이 스퍼터링 프로세스는 반복성이 높고 안정적이며, 두께, 컴포지션, 모양, 반사도 등의 박막 특성을 완벽하게 제어합니다. ULVAC SCH-135의 컨트롤러 인터페이스는 사용자 친화적이며, 가상 필름 다중 계층 증착 프로세스를 쉽게 설정, 제어, 모니터링할 수 있습니다. 스퍼터 증착 (sputter deposition) 프로세스를위한 사전 정의 된 레시피의 큰 데이터베이스가 있으며, 이를 통해 기계를 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 혁신적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 운영자는 증착 과정을 쉽게 시각화 할 수 있으며, 이는 SCH-135를 다른 스퍼터 시스템과는 별도로 설정합니다. ULVAC SCH-135는 산업 및 과학 분야의 대규모 박막 증착 응용을위한 이동 도구입니다. 박막 트랜지스터, AR 코팅, 유전체 거울, 에너지 저장 및 수확 장치, 박막 캡슐화/수동 레이어와 같은 광학 코팅을 생산하는 데 널리 사용됩니다. 또한, 정확성과 균일성이 높은 박막 레이어를 생산하는 능력은 박막 재료의 물리적, 화학적, 광학적 특성 (optical properties) 에 대한 연구와 같은 광범위한 과학 연구 응용 분야에 이상적입니다. 간단히 말해서, SCH-135 스퍼터링 도구는 고밀도, 균일 한 박막 레이어를 매우 반복 가능하고 신뢰할 수있는 넓은 영역에 배치 할 수있는 고급 박막 증착 자산입니다. 또한 정교한 컨트롤러 인터페이스와 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 매우 사용자 친화적이고 효율적인 박막 증착 프로세스를 설정, 제어, 모니터링할 수 있습니다. ULVAC SCH-135 (ULVAC SCH-135) 를 통해 산업 및 과학 분야의 박막 응용 분야는 상당한 추진력을 얻었으며 박막 증착에 가장 널리 사용되는 스퍼터링 시스템 중 하나입니다.
아직 리뷰가 없습니다