판매용 중고 ULVAC SCH-135 #293623029

ULVAC SCH-135는 스퍼터 증착 기술을 전문으로하는 회사 인 ULVAC, Inc.에서 제조 한 스퍼터링 장비입니다. SCH-135는 진공 호 기술을 사용하는 DC/RF 강화 PVD 스퍼터 코트 증착 시스템입니다. 이 장치에는 독립적 인 DC 및 RF 바이어스 전원 공급 장치, 가변 전원 출력 및 3 전극 아크 제어가 있습니다. 8 인치와 4 인치의 스퍼터 소스 2 개가 있어 빠르고 효율적인 코팅이 가능합니다. 기계에는 또한 개별적으로 또는 동시에 증착에 사용할 수있는 2 개의 대상이 있습니다. ULVAC SCH-135 (ULVAC SCH-135) 는 자기 재료, 투명 전도체 필름 등 다양한 재료의 스퍼터링에서 탁월한 성능을 제공합니다. SCH-135의 스퍼터 너비는 최대 8 인치이며, 하나의 패스로 더 큰 표면 영역을 스퍼터링할 수 있으며, 스퍼터 면적 속도는 최대 30 cm2/min으로, 코팅 균일성이 향상되었습니다. 이 도구는 10-5 Pa (10-5 Pa) 의 높은 진공 환경에서 작동 할 수 있으므로 증착율이 높고 성능이 향상됩니다. 챔버 압력은 통합 VETM (Vacuum Enhanced Technology Module) 기능으로 제어 할 수 있으며, 증착 재료, 공정 온도 및 원하는 코팅 균일성에 따라 작동 중에 조정 할 수 있습니다. h ULVAC SCH-135에는 광학 창, 대상 청소 및 냉각 메커니즘, RF 차폐 전원 공급 장치, 통합 원격 모니터링 자산 등 다양한 추가 기능이 있습니다. 이 모델은 연구 개발 응용 프로그램 (Research and Development Application) 과 품질 스퍼터 코팅 (Sputter Coating) 이 필요한 다양한 산업 응용 프로그램에 이상적입니다. SCH-135는 안정적인 성능을 제공하며 반복 가능한 결과를 제공합니다. 광범위한 소재와 필름 (film) 을 지원하며, 소량 코팅 애플리케이션에서도 비용 효율적입니다.