판매용 중고 ULVAC SCH-1000 #9314701

ULVAC SCH-1000 (ULVAC SCH-1000) 은 다양한 연구 및 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 컴팩트하고 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 유리, 알루미늄, 실리콘 및 기타 재료의 박막 증착 (thin film deposition) 을 포함하여 다양한 스퍼터링 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 이 장치에는 2 단계 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있어 박막 층의 균일성과 고속 증착이 가능합니다. 또한 기판의 모든 부분에서 균일성을 촉진하는 3D 기판 홀더, 초고진공 환경을위한 진공 챔버 (vacuum chamber) 및 증착 공정의 뛰어난 제어를위한 완전 자동화 된 공정 가스 제어 머신 (process gas control machine) 이 있습니다. 이 도구는 광학 및 전자 빔 리소그래피 (lithography) 를 단일 기계에 결합하는 고급 리소그래피 (lithography) 자산으로 제작되었습니다. 이것 은 크기 가 수백 "나노미터 '에 달하는 나노 구조 의 정확 한 제작 을 가능 하게 한다. 또한 최대 6 개의 타겟이 설치된 고속 멀티 타겟 스퍼터링 헤드 (Multi-Target Sputtering Head) 를 통해 운영 애플리케이션의 생산성과 확장성을 높일 수 있습니다. 이 장비는 재료와 기판 유형을 다양하게 선택하여 단일 레이어 (single layer) 또는 다중 레이어 박막 (multiple layer thin film) 증착을 수행 할 수 있습니다. SCH-1000은 실시간 비접촉 (non-contact) 광학 두께 모니터에 의해 용이해진 정확도 (최대 5 개의 옹스트롬) 를 갖춘 정확한 두께 결정 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 가스압 모니터가 내장되어 있어 일관성 있는 결과를 얻기 위해 깨끗한 프로세스 조건을 유지할 수 있습니다. 또한 3D 기판 홀더를 사용하면 전체 기판에 걸쳐 여러 레이어에 대한 균일성을 달성 할 수 있습니다. ULVAC SCH-1000은 빠른 정렬, 짧은 주기 시간, 빠른 기판 변경으로 처리량을 늘리도록 설계되었습니다. 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스도 손쉽게 작동할 수 있습니다. 이 신뢰성 있고 효율적인 스퍼터링 도구는 유연한 플라스틱을 포함한 다양한 기질 기판에 산화물 (oxides) 에서 금속 (metal) 에 이르기까지 다양한 박막 (thin film) 을 배치하는 데 사용될 수 있습니다. 광범위한 애플리케이션과 안정적인 성능을 갖춘 SCH-1000 은 대부분의 연구/산업 요구 사항에 이상적인 스퍼터링 (sputtering) 솔루션입니다.