판매용 중고 ULVAC SBH-5315 #9053711

ULVAC SBH-5315 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 광범위한 연구 및 산업 응용을위한 종합적인 박막 증착 플랫폼입니다. 금속, 반도체, 절연체 등 다양한 물질의 균일 한, 고품질의 박막을 증착 할 수 있습니다. 특히 높은 수준의 반복성과 정확성을 유지하면서 높은 증착률 (deposition rate) 을 위해 설계되었습니다. 이러한 특성은 CAE (cathodic arc evaporation), PMS (planar magnetron sputtering) 및 반응성 스퍼터링과 같은 다양한 스퍼터링 증착 프로세스에 적합합니다. 이 시스템에는 단일 및 다중 레이어 씬 필름의 증착을 용이하게하는 3 대상 DC/RF 모듈식 플랫폼이 장착되어 있습니다. 그것은 종종 "Gunn Effect" 라고하는 ULVAC 독점 기술을 사용하여 균일하게 두꺼운 레이어를 생성합니다. 이 로 말미암아 "스퍼터링 '과정 을 정확 하게 조절 할 수 있게 되고 높은 증착율 을 얻을 수 있게 된다. 이 장치에는 센서, 온도 모니터, 컴퓨터 인터페이스, 제어기 등 포괄적인 하드웨어 제품군도 함께 제공됩니다. 이를 통해 스퍼터링 매개변수 (sputtering parameters) 와 증착율을 정확하고 자동으로 제어할 수 있습니다. 또한이 도구는 여러 표적과 기판을 수용 할 수있는 4 사분면 디자인의 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 갖추고 있습니다. 강력한 터보 분자 진공 펌프 (turbomolecular vacuum pump) 는 챔버를 대피시키는 데 사용되므로 효율적이고 저온 물질 증착이 가능합니다. SBH-5315는 또한 온도 조절 자산 (temperate control asset) 을 사용하여 원치 않는 아웃게싱을 방지하고 전체 증착 과정에서 온도 안정성을 보장합니다. 또한, 이 모델은 시스템 장애 또는 인적 오류로 인해 상태가 안전하지 않은 경우 전체 장비를 중단시키는 자동 차단 시스템 (Automatic Shutoff System) 과 같은 여러 안전 (Safety) 기능을 통합합니다. 또한 고급 데이터 로깅 (advanced data logging) 기능을 통해 사용자는 배치 프로세스를 기록할 수 있으며, 데이터를 실시간으로 추적, 분석할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC SBH-5315는 매우 다용도, 사용자 친화적 인 스퍼터링 머신으로, 신뢰성 있고 고성능 박막 증착을 제공 할 수 있습니다. 이 제품은 프로세스 제어, 온도 조절, 프로세스 모니터링을 용이하게 하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 다양한 응용프로그램에 고품질 박막 (Thin Film) 재료를 필요로 하는 연구원이나 산업 이용자들에게 적합한 선택이다.