판매용 중고 ULVAC SBH-4118-C16 #293754738

ULVAC SBH-4118-C16은 물리적 증기 증착 공정, 특히 반도체 제조 및 고급 박막 코팅에 사용하도록 설계된 고도의 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 성능, 정확성, 다용성을 제공하므로 정확한 사양이 필요한 연구/생산 환경에 유용한 툴입니다. SBH-4118-C16 장치의 주요 구성 요소는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 이며, 원형 구성으로 배열 된 16 개의 음극이 장착되어 있습니다. 이러한 고유한 설계를 통해 여러 대상에서 동시에 증착하여 처리량 및 효율성을 높일 수 있습니다. 각 음극은 독립적으로 제어되어 필름 두께, 컴포지션, 균일성 (unifority) 과 같은 증착 매개변수를 정확하게 튜닝할 수 있습니다. ULVAC SBH-4118-C16 기계의 스퍼터링 공정은 고출력 RF 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 에 의해 구동되며, 이는 대상 물질을 폭격하는 이온의 플라즈마를 생성하여 원자를 분출하고 기판 표면에 침전시킵니다. 이 공구는 금속, 산화물, 질화물, 합금 등 다양한 재료를 스퍼터팅 할 수 있으며, 맞춤형 특성을 가진 복잡한 다층 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. 이 자산은 실시간 증착율 모니터링, 필름 두께 측정, 자동 피드백 제어 알고리즘 등 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 긴 증착 실행 중에도 일관되고 재현 가능한 필름 품질을 보장합니다. 또한, 이 모델에는 부하 잠금 (load-lock) 메커니즘이 장착되어 있어 기판 로드 및 언로드를 신속하게 수행하고, 다운타임을 최소화하고, 전반적인 생산성을 높일 수 있습니다. SBH-4118-C16은 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 통해 설계되었으며, 이 인터페이스는 배치 프로세스를 직관적으로 제어하고 광범위한 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 장비는 미리 정의 된 증착 레시피 (deposition recipe) 또는 사용자 정의 시퀀스 (custom sequence) 를 실행하도록 프로그래밍 될 수 있으며, 일상적인 생산 실행 및 연구 실험에 적합합니다. 이 시스템에는 인터 록 (Interlock), 진공 모니터링 시스템 (Vacuum Monitoring System), 비상 종료 메커니즘 (Emergency Shutdown Mechanism) 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있으며, 운영자의 안전성을 보장하고 비정상적인 작동시 장치의 손상을 방지합니다. 이 기계는 미립자 생성 (particulate generation) 이 낮고 오염 물질의 최소 외출 (outgassing) 을 통해 청소실 호환성에 대한 산업 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 요약하자면, ULVAC SBH-4118-C16 스퍼터링 툴은 고급 기술, 고성능, 사용자 친화적 작업을 조합하여 다양한 박막 증착 응용 프로그램을위한 다용도 도구입니다. 고품질 박막이 필수적인 반도체 제조, 광학 코팅 (Optical Coating), 연구실 (Research Laboratories) 에는 독특한 디자인, 정확한 제어 기능 및 안전 기능이 적합합니다.