판매용 중고 ULVAC SBH-2306 #9156856

ULVAC SBH-2306은 박막을 기판에 증착하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 우월 한 균일성 을 가진 훌륭 한 구조 를 만드는 데 이상적 이다. 이 시스템은 회전 스퍼터링 건, 진공 챔버 및 회전 리프트 테이블로 구성됩니다. 스퍼터 건은 반응성 및 비 반응성 스퍼터링을 위해 설계되었습니다. 다양한 스퍼터링 요구를 수용하기 위해 3 가지 총 모드를 사용합니다. 여기에는 전력 변조, 무선 주파수 (RF) 변조 및 DC 마그네트론 스퍼터링이 포함됩니다. 총은 스퍼터링 할 광범위한 재료를 커버하기 위해 다양한 목표물 (target) 을 갖추고 있습니다. 진공실은 기계적으로 펌핑되고 로터리 베인 러핑 펌프로 보완됩니다. 또한 높은 진공 작동을위한 별도의 터보 펌프가 있습니다. 가스 배기 및 환기 시스템은 프로세스 관련 운영을 용이하게하기 위해 내장되어 있습니다. 회전 리프트 테이블 (rotative lift table) 은 스퍼터 경로 (sputter path) 안팎의 기판을 회전시킬 수 있으며, 기판 공간을 저장하는 데도 사용됩니다. SBH-2306은 기판 온도 조절, 디지털 진공 게이지, 폐쇄 루프 프로세스 모니터링, 자동 광선 방전 청소 및 조절 장치 등 다양한 추가 기능을 제공합니다. 기계의 전체 크기는 길이가 89 ", 폭이 30" 인 작은 공간입니다. 이 도구는 재현 가능한 결과와 함께 뛰어난 성능을 제공합니다. ITO 코팅, SiO/SiN 코팅 및 OLED를위한 PECVD 필름 증착 및 금속/절연체 다층 시스템과 같은 박막 응용 분야에 적합합니다. ULVAC SBH-2306은 뛰어난 균일성을 유지하면서 훌륭한 기능을 만들 수 있습니다.