판매용 중고 ULVAC SBH-2306 #9107295

ULVAC SBH-2306 (ULVAC SBH-2306) 은 얇은 재료를 기판에 증착시키는 등 다양한 응용 분야에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 에르메틱 밀봉 환경을 제공하는 돔 모양의 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 있으며, 최적의 온도 제어를 위해 가스 분사 시스템을 사용합니다. 챔버 내부에는 다양한 코팅 구성을 위해 4 개의 RF 스퍼터링 음극이있는 멀티 타겟 스퍼터링 건이 있습니다. 스퍼터링 지속 시간을 제어하는 프로그램 가능한 펄스/타이머 (puls/timer) 와 플라즈마 밀도를 제어하는 바이어스 전압원 (bias voltage source) 이 있습니다. SBH-2306은 박막 코팅의 경우 0.1 ~ 10 nm/min 범위의 증착 속도가 가능합니다. 또한 표적각, 챔버 압력, 가스 흐름 속도, 스퍼터링 전압 등 최대 10 개의 스퍼터 매개변수를 지원할 수있는 컴팩트하고 사용하기 쉬운 컨트롤러가 특징입니다. 이 스퍼터링 유닛은 반응성 이온 스퍼터링, 산화 및 산화없는 코팅 과정을 촉진 할 수 있습니다. 시트 내 압력 모니터링 챔버 (in-situ pressure monitored chamber) 와 더 나은 프로세스 제어 및 향상된 반복성을 위해 고압 가스 분사 기계가 있습니다. ULVAC SBH-2306에는 또한 높은 진공 작동을위한 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 가 장착되어 있으며, 이는 저응력 스퍼터 코팅에 필요합니다. 또한, 펌프 다운 시간을 가속화하기 위해 질소 퍼지 포트가 있습니다. 이 챔버에는 재료 도입을위한 2 개의 포트 (알루미늄 목표물 1 개, 반응성 가스 1 개) 와 전체 스퍼터링 프로세스를 실시간으로 제어하기위한 뷰 포트 (viewport) 가 있습니다. 최상의 성능을 보장하기 위해, ULVAC 스퍼터링 시스템에는 최고의 프로세스 제어를 위해 고급 마이크로프로세서 컨트롤러 (고급 마이크로프로세서 컨트롤러) 에 다중 및 정밀 스퍼터 매개변수 (sputter parameter) 가 있습니다. 안전하지 않은 프로세스 조건이 감지되면 운영자에게 알리기 위한 가청 (audible) 및 시각적 (visual) 경보 (alarm) 와 같은 안전 기능이 있습니다. 이 도구에는 유지 관리 (maintenance) 메뉴도 포함되어 있어 운영자가 쉽게 교정 (corrective) 조치를 취할 수 있습니다. 전반적으로, SBH-2306은 다양한 응용 프로그램에 대한 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 정확한 박막 코팅 결과를 제공하는 고도의 스퍼터링 자산입니다. 안전 (Safe) 운영을 보장하는 다양한 기능을 갖추고 있으며, 최소한의 투자로 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.