판매용 중고 ULVAC SBH-2306-DE #9055122

ULVAC SBH-2306-DE 스퍼터링 (sputtering) 장비는 다양한 응용 프로그램에서 고정밀 박막 재료 레이어를 만들도록 설계된 고성능 도구입니다. 이 최첨단 시스템은 PVD (Physical Vapor Deposition) 기술을 사용합니다. PVD (Physical Vapor Deposition) 기술은 스퍼터링 소스가 대상 표면을 폭격하고 대상 물질의 원자 또는 분자를 기판으로 전달하는 데 사용되는 진공 수준 증착 기술입니다. SBH-2306-DE는 독립적 인 회전 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 를 갖추고 있으며, 높은 균일성과 정밀도의 필름뿐만 아니라 조성이 다른 동시 스퍼터링 목표를위한 이중 마그네트론 소스를 생산합니다. 큰 진공 챔버에서 최대 2 개의 기판 또는 표적을 처리 할 수 있으며, 기본 압력은 1e-5 Pa, 연금속, 합금, 실리사이드 및 산화물의 다층 박막을 처리 할 수 있습니다. 기판 크기는 4 인치에서 8 인치까지 기판을 수용 할 수 있으며, 최대 기판 크기는 300mm입니다. 이 장치에는 다용도 광학 모니터링 머신 (Optical Monitoring Machine) 이 장착되어 있어 처리 전후의 측정과 결함 분석을위한 원격 진단 도구 (Remote Diagnosis Tool) 를 지원합니다. 직관적 인 "소프트웨어 '는 손쉬운" 데이터 입력' 을 통해, 그 들 에게 필요 한 모든 정보 를 제공 해 주어 좋은 결과 를 얻게 해 준다. 또한, ULVAC SBH-2306-DE는 뛰어난 반복성으로 고급 프로세스를 수행할 수 있으며, 가장 까다로운 어플리케이션에 가장 높은 효율성과 생산성을 제공합니다. 자산의 디자인은 대형 기판을 처리 할 때 더 나은 열 제어를 위해 수냉식 (water cooling) 과 공랭식 (air cooling) 을 모두 포함합니다. SBH-2306-DE는 자동 증착 두께 제어 (Automatic Deposition Thickness Control), 가스 누출 방지, 필요한 응용 프로그램에 최적화된 작동 설정 등의 기능을 통해 안전성과 사용자 편의성을 고려하여 설계되었습니다. 이 강력한 스퍼터링 (Sputtering) 모델은 자동차, 의료 전자 제품, 태양 전지 및 마이크로 일렉트로닉스 (Microelectronics) 와 같은 산업의 연구 및 생산 프로세스에 귀중한 자산이며, 탁월한 다재다능성과 성능을 제공합니다.