판매용 중고 ULVAC Preparation chamber MPS-2000 #9288623

ULVAC Preparation chamber  MPS-2000
ID: 9288623
빈티지: 2000
Ultra high vacuum sputtering system 2000 vintage.
ULVAC Preparation chamber MPS-2000은 재료 준비 및 연구 요구를 충족하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 많은 산업· 과학 분야 의 "샘플 '준비 에 이상적 인 도구 이다. MPS-2000은 이온 스프레이, 무선 주파수 소스, 스퍼터 챔버, 파일럿 램프, 펌프 및 기타 정밀 컨트롤 및 부품을 갖춘 일체형 소형 디자인을 갖추고 있습니다. 인체 공학 디자인은 쉽게 작동하고 운송합니다. 준비 챔버 MPS-2000에는 이중 기판 홀더가 있으며, 이를 통해 샘플을 두 평면에 배치 할 수 있습니다. 홀더는 또한 독립적 인 Z축 동작 단위로 제어되며, 이를 통해 정확한 코팅이 가능합니다. 챔버에는 여러 개의 스퍼터 소스 (각각 자체 전원 공급 장치 및 챔버 전원 제어 장치 포함) 가 장착되어 있습니다. 소스는 멀티 소스 스퍼터 프로세스 (multi-source sputter process) 로 배치 될 수 있으며, 각 타겟은 샘플에서 원하는 필름 특성을 허용하도록 독립적으로 설정할 수 있습니다. 또한 넓은 지역에 걸쳐 높은 증착률과 스퍼터링 균일성이 있습니다. ULVAC Preparation chamber MPS-2000에는 손쉬운 작동, 모니터링 및 매개변수 설정이 가능한 터치 패널 디스플레이가 있습니다. 또한 패널에는 우발적 인 프로세스 이동 또는 파손된 대상에 대해 경고할 수 있는 경보 시스템 (alarm system) 이 있습니다. 다른 기능으로는 내장 냉각 장치, 비활성 가스 퍼징 머신, 샘플을 보호하는 자동 셔터 도어 (shutter door) 가 있습니다. 이 방은 또한 우수한 기술의 도움으로 유지 및 청소됩니다. 온도, 습도, 압력 은 모두 "챔버 '에서 유지 될 수 있으며, 따라서 더 높은 질 의 일 을 수행 할 수 있다. 결론적으로, Preparation chamber MPS-2000은 연구 및 산업 응용을위한 샘플 준비를위한 훌륭한 도구입니다. 사용자 친화적인 디자인, 고성능 스퍼터링 소스 (Sputtering Source) 및 기타 기능으로 인해 훌륭한 장비가 될 수 있습니다.
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