판매용 중고 ULVAC PME-200 #9218797

ULVAC PME-200은 박막을 다양한 기판에 증착시키는 데 사용되는 다재다능한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 합금, 금속, 절연체 (insulator) 와 같은 다양한 재료를 조절된 두께와 균일성으로 퇴적시키는 연구 실험실에서 인기가 있습니다. PME-200은 3 층 진공 타이트 장비 케이스와 드라이브 메커니즘으로 덮인 메인 챔버로 구성됩니다. 이 주요 챔버에는 3 개의 스퍼터 소스가 장착되어 있으며, 병렬 마그네트론 (parallel magnetron) 또는 교차 필드 소스로 구성 할 수 있습니다. 또한 소스 지원 구조 (source support structure) 와 스퍼터 소스 (sputter source) 와 기판 홀더 사이의 연결 기능을 수행하는 일치하는 스타일 음극 어셈블리가 있습니다. 기판 홀더는 증착 중 기판을 지원하는 역할을 하며 플랫 (flat) 또는 원통형 (cylindrical) 기판에 대해 구성 될 수 있습니다. 보유 프레임, 히터 및 초점 링으로 구성됩니다. "히터 '는 기판 온도 를 조정 하는 데 사용 되며," 포커스 링' 은 증착 원 의 조절 가능 한 부면 을 제공 한다. ULVAC PME-200 컨트롤러에는 LCD 디스플레이, 백킹 메모리, 프로그래밍 옵션 및 소스 컨트롤이 있는 터치 패널이 포함되어 있습니다. 이 소스 컨트롤러는 다양한 스퍼터링 가스로 최대 5 개의 증착 소스를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 PID 피드백 루프 (feedback loop) 를 갖춘 정교한 열 제어 기계가 있어 정확한 온도 안정성과 균일성이 가능합니다. 온도 조절 은 "아르곤 ', 질소," 헬륨' 및 기타 "가스 '를 선택 하는 초점 고리 를 이용 하여 제어 할 수 있다. PME-200에는 입자가 안전하게 제거되도록 배기 관리 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산에는 효과적인 환기를위한 배기 포트가 있습니다. 또한 진공 압력 센서 (vacuum pressure sensor) 가 장착되어 증착 과정 압력을 정확하게 측정 할 수 있습니다. ULVAC PME-200은 여러 개의 스퍼터 소스와 정교한 열 제어 장비를 갖춘 다재다능한 증착 모델입니다. 이 "시스템 '은 평판 기판 과 원통형 기판 에 두께 와 균일 함 이 제어 된 여러 가지 재료 를 증착 시킬 수 있다. 첨단 열 제어 (thermal control) 및 배기 (exhaust) 관리 장치는 다양한 가스로 안전하고 효율적인 프로세스를 보장합니다.