판매용 중고 ULVAC PME-200 #9070529

ULVAC PME-200 스퍼터링 장비는 다양한 박막 응용 프로그램을 위해 설계된 매우 다용도 고급 스퍼터링 시스템입니다. 이 장치는 열 및 반응성 스퍼터링을 포함한 여러 PVD 프로세스를 수용 할 수있는 모듈 식 다중 구성 프레임 (Modular, Multi-Configuration Frame) 으로 설계되었습니다. 이 기계에는 2 개의 스퍼터 챔버가 있으며, 각각 최대 2 개의 마그네트론 스퍼터 음극이 장착되어 있습니다. 각 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 는 최대 4 개의 기판을 수용 할 수 있으며, 각 기판은 독립적으로 구동 된 기판 홀더에 있습니다. 이 도구의 유연한 설계를 통해 사용자는 기판 유형 (type), 대상 컴포지션 (target composition), 스퍼터 매개변수 (sputter parameters) 를 빠르고 쉽게 변경할 수 있습니다. PME-200은 최대 3 kHz의 반복 속도로 고주파 펄스를 생성 할 수있는 고주파, 펄스 변조 전원 공급 장치 (PME-200) 로 구동됩니다. PACMAN 자동 컨트롤러 (PACMAN automated controller) 는 스퍼터 매개변수 및 기판 온도에 대한 최적의 값을 자동으로 설정하여 연산자 개입을 최소화하도록 설계되었습니다. 이를 통해 각 기판에 균일 하고 반복 가능한 증착이 가능합니다. 스프링 로드 쇼 실드 디자인은 스퍼터링 (sputtering) 으로 생성 된 하전 입자에서 전체 기판 영역을 보호함으로써 우수한 증착 균일성을 제공합니다. 서셉터 디자인은 목표 물질의 고밀도 강화를 허용하며, 반응성 스퍼터링 프로세스를 위해 에셋에 최대 5 개의 희귀 가스 라인 (rare-gas line) 을 연결할 수 있습니다. ULVAC PME-200 (ULVAC PME-200) 은 또한 탄약의 온도 조절 및 입자 추출을 모두 제공하는 강력한 냉각 루프 (cooling loop) 를 제공하여 깨끗한 처리 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, PME-200에는 스퍼터링 프로세스 (sputtering process), 저장 설정 (store setup) 구성 및 전체 모델 제어 및 모니터링을 쉽게 구성할 수 있는 직관적인 휴먼 머신 인터페이스가 제공됩니다. 이 장비에는 여러 가지 안전 기능 (예: 인터록 활성화 (interlock activation), 온도 모니터링 (temperature monitoring) 및 비정상적으로 발생할 경우 자동 차단 (automatic-off) 이 있는 도어 잠금 시스템) 이 포함됩니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 ULVAC PME-200은 광범위한 박막 어플리케이션을 위한 강력하고, 유연하며, 신뢰할 수 있는 도구입니다.