판매용 중고 ULVAC MPS-8000 #9053708

ULVAC MPS-8000은 고품질 박막 생산을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 로봇 스퍼터링 시스템은 고정밀 자동 프로세스 제어, 대형 기판 크기 및 쉬운 액세스를 제공합니다. MPS-8000 (MPS-8000) 은 기판 및 플렉스 디스크에서 고품질의 박막 (Thin Film) 의 세로 자기 기록 레이어를 스퍼터링하도록 설계되었습니다. 자동화된 프로세스 제어 장치는 플럭스 균일성 (flux uniformity), 입자 가속 (particle acceleration), 증착률 (deposition rate) 과 같은 정확하고 반복 가능한 플라즈마 매개변수를 제공합니다. ULVAC MPS-8000 은 고품질 전원 공급 장치를 갖추고 있으며, 중단 없는 스퍼터링 (sputtering) 및 빠른 처리 속도를 위한 견고하고 안정적인 구성요소를 갖추고 있습니다. 통합 컨트롤 머신 (Control Machine) 과 터치스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 사용하면 로봇을 경험하지 못한 사용자에게도 쉽게 사용할 수 있습니다. MPS-8000에는 직경 12 인치까지 큰 기판 크기를 손쉽고 정확하게 처리하기위한 6 축 로봇 암이 있습니다. 큰 기질은 정확한 움직임과 쉬운 조작을 위해 지그로 클램핑 될 수 있습니다. 이것 은 여러 가지 형태 와 크기 의 기판 들 을 동일 한 "필름 '질 로" 스퍼터링' 할 수 있게 한다. 또한, 이 에셋은 개방형 포트 액세스를 제공하여 기판 또는 웨이퍼 홀더에 직접 액세스 할 수 있습니다. 이를 통해 기판 유지 보수, 빠른 로드 및 언로드를 위해 챔버 인테리어에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 소변 조절 가스 샤워 및 다양한 가스 쿼터니언 (gas quaternion) 및 크기 옵션 (options) 은 광범위한 스퍼터링 적용을 용이하게합니다. 결론적으로, ULVAC MPS-8000은 비용 효율적인 스퍼터링 모델로, 높은 정밀도 스퍼터링 프로세스를 위한 간편한 액세스 및 자동 제어를 제공합니다. 내장 된 로봇 암 (robotic arm) 과 조절 가능한 가스 샤워 (gas shower) 는 대형 기판의 스퍼터링과 다양한 모양과 크기를 용이하게합니다. 안정적이고, 견고한 구성 요소와, 사용자 친화적인 인터페이스를 갖춘 MPS-8000 은 고정밀도 박막 증착이 필요한 어플리케이션에 적합합니다.