판매용 중고 ULVAC MPS-5000-HC6 #9156847

ULVAC MPS-5000-HC6은 고품질 박막 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 8 인치 단일 셀 자기 강화 평면 스퍼터 소스, 8 인치 기판 홀더, 고 진공 챔버, 광학 방출 분광기 (OES) 모듈 및 전용 소프트웨어로 구성됩니다. 스퍼터 소스는 초저전압, 저EMI 전자 건, 스퍼터링 균일성 및 안정성 향상을 위해 다중 마그네트론, 고용량 목표 설계를 특징으로합니다. 기질 보유자는 정전기 전하를 중화시키는 특허를받은 방법으로 마이크로 포지셔너 (micropositioner) 에 의해 제어되며, 이는 정밀한 기질 위치 및 코팅 균일성을 보장한다. MPS-5000-HC6의 챔버에는 반응성 가스 도입을위한 가스 분사 장치 (gas injection unit) 와 오염으로부터 챔버 내부를 보호하기 위해 2 개의 움직이는 블레이드와 2 개의 고정 방패가있는 배기 장치 (exhaust unit) 가 장착되어 있습니다. OES 모듈은 챔버에 통합되어 있으며 스퍼터 증착 중에 실시간 모니터링 (real-time monitoring) 및 자동 제어 매개변수를 허용합니다. 전용 소프트웨어는 다양한 레시피와 매개변수 조정을 통해 스퍼터링 (sputtering) 작업을 단순화하고 자동화하며, 완전히 자동화된 샘플 로드/언로드 머신을 갖추고 있습니다. 또한, 스퍼터링 레시피 저장 및 챔버 상태 점검을 허용합니다. ULVAC MPS-5000-HC6은 고품질 필름 증착을위한 안정적이고 효율적인 스퍼터링 도구를 찾는 사람들에게 매력적인 옵션입니다.