판매용 중고 ULVAC MPS-2000 #9156854

ULVAC Japan에서 제조 한 ULVAC MPS-2000 스퍼터링 장비는 박막 제작에 사용되는 다용도 도구입니다. MPS-2000에는 3 개의 독립적 인 스퍼터링 소스가 있으며, 정확한 두께 제어로 다중 계층 증착이 가능합니다. 진공 펌프는 5 x 10-6 Pa, 최대 압력 3 x 10-3 Pa의 안정적인 기본 진공을 제공하여 빠른 펌핑 시간으로 일관된 필름 적용을 허용합니다. ULVAC MPS-2000은 50 x 50cm 음극 챔버를 특징으로하며 300 x 150 x 200cm, 모두 스테인리스 스틸 구조입니다. 온도 범위는 100 'C ~ 325' C이며 시스템을 어느 방향으로든 방향 조정할 수 있습니다. 표준 스퍼터링 (Standard Sputtering) 과 호환되며 내장 제어 장치를 사용하여 자동화할 수 있습니다. 또한 MPS-2000은 온도, 압력, 모니터링 및 진단 기능을위한 터치 스크린 컨트롤러를 갖추고 있습니다. ULVAC MPS-2000은 고품질 박막의 스퍼터 증착을 위해 신뢰할 수있는 선택입니다. 독립 소스 및 다중 계층 증착 (multilayer deposition) 기능은 많은 응용 프로그램에서 매우 유용합니다. MPS-2000 (MPS-2000) 에 의해 증착 된 필름은 동질성과 우수한 접착, 증착 속도를 높이고 필름의 균일 성을 줄이는 능력으로 유명합니다. 자동화된 제어 (automated control) 기능은 운영자의 입력이 최소화되므로 전반적인 운영 시간을 단축할 수 있습니다. ULVAC MPS-2000에는 가스 투여 기능 (gas-dosing capability) 이 장착되어 있으며, 이는 증착 된 조성의 적절한 반응 속도를 보장하기 위해 사용될 수 있습니다. 전반적으로 MPS-2000은 박막 응용 프로그램을위한 강력하고 다양한 스퍼터링 기계입니다. 견고한 디자인과 고급 (Advanced) 기능을 통해 다양한 프로덕션 프로세스를 안정적으로 선택할 수 있습니다. 내장 제어 도구는 연산자 입력을 줄여 빠르고 쉽게 작업할 수 있습니다. 그리고 다층 기능과 뛰어난 균일성은 일관된 결과를 보장합니다.