판매용 중고 ULVAC MLX-3000 #293740221

ULVAC MLX-3000은 고급 반도체 생산 프로세스를 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 최소한의 비용으로 고성능, 안정적인 스퍼터링을 제공합니다. 기존의 스퍼터링 시스템보다 낮은 전력, 높은 운영 효율을 제공하는 중주파 마그네트론 (medium frequency magnetron) 을 활용합니다. MLX-3000은 증착률이 가장 높으며 알루미늄, 구리, 금, 니켈, 코발트 및 티타늄을 포함한 다양한 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 추가 부품 없이 수정 방향 제어 (crystal orientation control) 를 수행할 수 있으므로 생산 프로세스를 단순화하고 보다 일관된 제품을 보장합니다. ULVAC MLX-3000은 기존의 스퍼터링 시스템에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. 더 높은 스퍼터 증착률, 감소 된 기질에서 플라스마로의 상호 작용, 특정 코팅에 대한 스퍼터링 프로세스를 최적화하는 기능. 또한, 특정 재료에 이상적인 코팅 각도를 제공 할 수있는 고정밀 각도 제어 머신 (high-precision angle control machine) 이 장착되어 있습니다. 프로세스를 더욱 최적화하기 위해 MLX-3000 은 가스 흐름 속도 모니터 (Gas Flow Rate Monitor), 온도 컨트롤러 (Temperone Controller), 코팅 두께 모니터 (Coating Thickness Monitor) 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. ULVAC MLX-3000은 정밀도가 ± 0.1% 인 고정밀 전원 공급 장치 (HPP) 설계를 통해 시장에서 가장 효율적이고 정확한 스퍼터링 시스템 중 하나입니다. 또한 작업 패널이 단순화되어 이 도구를 빠르고, 쉽게 설치, 운영할 수 있습니다. 또한, 사고 발생 시 자산을 즉시 끄는 비상 사태 (Emergency Stop) 를 포함하여 향상된 안전 (Safety) 기능을 제공합니다. MLX-3000은 대용량 생산을 위해 설계되었으며, 진공실은 멀티 스퍼터링 (multi-sputtering) 또는 박막 증착 (thin film deposition) 및 에칭 (etching) 과 같은 다양한 다른 프로세스에 사용될 수 있습니다. 그것 은 여러 가지 표준 표적 재료 와 호환 되므로, 실험실 과 제조 필요 를 위한 훌륭 한 선택 이다. "깨어라!" 마지막으로, 이 모델은 모든 운영 환경의 요구 사항을 충족할 수 있도록 지원하는 포괄적인 보증 (Comprehensive Warranty) 을 제공합니다.