판매용 중고 ULVAC MCH-9000 #9269413

ULVAC MCH-9000 (ULVAC MCH-9000) 은 박막 코팅, 나노 재료 및 기타 초박막 제작에 사용하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 주 소스 챔버 (main source chamber) 로 구성되며, 슬러리 코팅 된 금속 표적이 스퍼터링되고, 반응이 진행됨에 따라 보조 챔버가 스퍼터링됩니다. 스퍼터링 과정을 시작하기 위해, 아르곤과 같은 비활성 가스가 메인 챔버에 공급되고, RF-AC (radio-frequency alternating current) 가 대상 재료에 적용된다. 이것 은 표적 물질 의 단분자 표면 을 자유 "이온 '으로 분리 시키며, 그 결과" 이온' 은 "스퍼터 '" "이온' 이 되어 기질 의 표면 에 추진 되어" 코우팅 '을 형성 한다. "가스 '는 유리 에서 금속 에 이르는 여러 가지 재료 가 될 수 있으며, 이러 한" 코우팅' 은 "반도체 '와 광학 산업 에서 광범위 한 응용 에 사용 될 수 있다. MCH-9000 은 매우 다양하며, 다양한 컨트롤과 기능을 통합하여 정확한 결과를 보장합니다. 통합 고급 디지털 컨트롤러는 스퍼터링 속도 (sputtering speed), 스퍼터 압력 (sputter pressure) 및 가스 흐름 (gas flow) 을 정확히 조정할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 아르곤 손실을 줄이기 위해 설계된 고급 가스 순환 기계 (Advanced Gas Circulation Machine) 와 진공 압력 모니터 (Vacuum Pressure Monitor) 및 제어 도구 (Control Tool) 가 장착되어 있습니다. 이 자산에는 진단 및 프로세스 제어 목적을위한 통합 모니터 및 레코더가 있습니다. 이렇게 하면 연산자가 결과 코팅 두께, 균일성 및 기타 매개변수를 추적하고 분석할 수 있습니다. 또한 ULVAC MCH-9000에는 과압 차단 스위치, 저수준 경보, 자동 가스 차단 밸브 등 다양한 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 전반적으로 MCH-9000은 정확하고 고품질 스퍼터링 결과를 제공하도록 설계된 고급 모델입니다. 통합 프로세스 제어, 진단 기능, 가스 순환 시스템, 안전 시스템 등으로 인해 정확한 박막 코팅 (thin-film coating) 증착이 필요한 모든 연구/생산 환경에 적합합니다.