판매용 중고 ULVAC MCH 9000 #293819047

ULVAC MCH-9000 스퍼터링 장비는 박막 증착을위한 고급 도구입니다. 우수한 결과를 위해 여러 가지 고급 기능이 통합되어 있습니다. 마그네트론 (Magnetron) 및 전자 빔 (Electron-beam) 기반 스퍼터링 프로세스를 모두 사용하는 이중 빔 시스템으로 증착 과정에서 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이 장치에는 정확한 스퍼터 증착 제어를위한 솔리드 스테이트 컨트롤러 (solid-state controller) 와 다른 필름 대상에 대해 플라즈마 믹스를 사용자 정의하는 기능이 있습니다. 또한 멀티 타겟 (multi-target) 기능을 활용하여 여러 계층의 씬 필름을 동시에 배치할 수 있습니다. 이 기계는 중앙 메인 챔버 (main chamber) 로 구성되어 있으며, 이중 빔 스퍼터링 음극과 여러 위성 챔버 (satellite chamber) 가 있으며 추가 목표를 수용 할 수 있습니다. 각 위성 챔버 (satellite chamber) 는 다른 각도로 위치하여 더 광범위한 공정 챔버를 허용합니다. 전동 전사 암 (Motorized Transfer Arm) 을 사용하면 기판을 주 및 위성 챔버 사이, 스퍼터링 대상 사이에서 자유롭게 이동할 수 있습니다. 이 로 말미암아 "오퍼레이터 '는 주 동작" 챔버' 와 위성 사이 를 신속 히 움직 일 수 있으며, 이것 은 증착 과정 의 효율성 을 크게 증가 시킨다. 이 공구는 자동 챔버 전송 모델 (automated chamber transfer model) 과 진공 인터 록 (vacuum interlock) 이 있기 때문에 진공 자산에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 스퍼터 소스는 메인 챔버 (main chamber) 에 수동으로 삽입되며, 표적의 전체 표면에 액세스하기 위해 260도 호로 전환 할 수 있습니다. 소스 (source) 는 서로 독립되어 프로세스의 유연성을 극대화할 수 있습니다. 전자 빔 소스는 반응성 스퍼터링을 위해 설계된 반면, 마그네트론 음극은 PVD (physical vapor deposition) 프로세스에 최적화되었습니다. 최대 4 개의 음극을 한 번에 장착 할 수 있으며, 추가 목표로 장비를 쉽게 확장 할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 컨트롤러에는 PID 피드백 제어, 마그네트론 전원 제어, 자동 목표 보상, 다중 사전 설정 작동 레시피 등 여러 가지 고급 기능이 통합되어 있습니다. 전동식 트랜스퍼 암 (Motorized Transfer Arm) 도 원격으로 제어할 수 있으므로 기판을 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. MCH-9000 스퍼터링 시스템은 박막 증착에서 뛰어난 다용성과 뛰어난 성능을 제공합니다. 즉, 탁월한 프로세스 제어를 유지하면서, 운영자가 다른 타겟 간에 쉽고 빠르게 이동할 수 있게 해 주는 신뢰할 수 있는 유닛입니다. 생산성과 정확성을 극대화하는 잘 설계된 견고한 기계입니다.