판매용 중고 ULVAC MCH-4500 #9226118

ULVAC MCH-4500은 박막 증착 목적으로 고급 스퍼터링 장비입니다. 최대 4 "크기의 기판에 초박막을 배치 할 수 있습니다. 이 시스템은 고주파 마그네트론 스퍼터링을 사용하여 접착 특성이 높은 균일 한 필름을 생성합니다. MCH-4500은 반도체, 박막 전기 광학, 다층 거울, 마모 방지 코팅 등 다양한 연구 및 상업 응용 분야에 적합합니다. ULVAC MCH-4500은 스퍼터 된 필름에서 증착 속도와 균일성을 최대화하기 위해 다양한 기능을 자랑합니다. 이 장치의 고주파 마그네트론 (magnetron) 전원은 최대 5kW의 전력을 생산하여 필름에서 높은 증착률과 균일성을 허용합니다. 뿐 만 아니라, 기계 는 고속 "스퍼터링 '증착 을 포함 하여 금속 과 산화물 의 표적 물질 을 동시 혹은 별도 로" 스퍼터' 를 하여 반사 거울 층, 전극 혹은 채도 있는 흡수 물질 을 생산 할 수 있게 한다. 이 도구는 정확하고 반복 가능한 작동을 보장하는 다양한 구성 요소를 갖추고 있습니다. 여기에는 4-in-wafer 리프트 장치 및 자동 필름 두께 측정 에셋이 포함되며, 이를 통해 박막 증착에 대한 정확한 기판 처리 및 모니터링이 가능합니다. MCH-4500에는 2 단계 질량 흐름 컨트롤러, 2 개의 독립 온도 제어 장치, 올인원 PC, 클라이언트/서버 기반 소프트웨어 제어 모델 및 24-7 모니터링 장비가 있습니다. 이 설정은 안정적이고 자동화된 박막 증착 경험을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 시스템은 사용자 안전을 보장하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능을 제공합니다. 여기에는 안전 카메라 장치 (Safety Camera Unit) 와 자동 안전 셔터 장치 (Automatic Safety Shutter Device) 가 포함됩니다. 안전 셔터 장치 (safety shutter device) 는 또한 필름 산화를 방지하는 한편, 입자가 침전실에 들어가서 오염되는 것을 방지합니다. ULVAC MCH-4500은 신뢰할 수 있고, 안전하며, 자동화된 스퍼터링 머신으로, 다양한 어플리케이션에 신뢰할 수있는 얇은 필름을 증착하는 데 적합합니다. 고급 컴포넌트 (advanced component) 와 기능을 통합하면 광범위한 어플리케이션을 위한 정확하고 균일 한 박막 증착이 가능합니다. 이 도구는 안정적이고 효율적인 스퍼터링 자산을 추구하는 연구자와 엔지니어에게 이상적인 선택입니다.