판매용 중고 ULVAC KS-300-1.5 #9110225

ULVAC KS-300-1.5 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 고에너지 전자를 사용하여 균일 하고 균일하며 부드러운 필름 코팅을 생성하는 고성능 플라즈마 강화 시스템입니다. 이 장치는 단일 엔드 스퍼터링 소스와 플라즈마 생성을위한 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 특징으로합니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 에는 반도체, 금속, 기타 재료 의 가공 을 위한 "액세서리 '가 다양 하다. 이 도구의 코어는 통합 컨트롤러와 디지털 디스플레이가 장착 된 200mm 진공 챔버로 구성됩니다. 기본 압력 10-6 Torr로 최대 10-3 Torr의 압력을 달성 할 수 있습니다. 스퍼터 소스는 분말 코팅 알루미늄이며, 진공 챔버 위에 장착되고, 전원 공급 장치에 연결됩니다. 스퍼터링 소스는 2 개의 총 음극 구성을 사용하여 균일 하고 균일 한 코팅을 생성합니다. 편의상, 자산에는 프로그래밍 가능한 대상 정렬 모델이 포함되어 있어 대상의 정확한 배치를 보장합니다. 또한, 장비에는 대상자와 기판 사이의 최대 접촉을 보장하기 위해 대상 보유자가 포함됩니다. 이 시스템에는 다양한 재료 처리를 위해 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 여기에는 고밀도 플라즈마 생성을위한 마그네트론 음극, 기판 온도 조절을위한 기판 히터, 기판 제어를위한 셔터 액추에이터 (shutter actuator) 및 이온 폭격 에너지 제어를위한 스윕 스피드 조정기 (sweep speed adjuster) 가 포함됩니다. 또한, 이 장치에는 정확하고 정확한 프로세스 제어를 위해 온도 컨트롤러, 열 센서, 차폐 인클로저, 카메라 장비가 포함되어 있습니다. ULVAC KS-300-1.5는 다재다능한 고성능 머신으로, 다양한 기판에서 매우 균일 한 코팅이 가능합니다. 소규모의 고품질 필름을 구현할 수 있으며, 프로세스 반복성과 균일성이 뛰어납니다. 반도체 업계의 증착 응용 분야에 적합한 옵션입니다.