판매용 중고 ULVAC IBS-6000 #9237376

ULVAC IBS-6000은 금속, 산화물 재료 및 탄소 나노 튜브의 안정적이고 균일 한 박막 코팅을 제공 할 수있는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 대용량 직류 (DC) 소스를 사용하여 생생한 이온화를 제공하여 코팅 균일성과 증착 효율성을 향상시킵니다. 시스템의 고출력/고출력 (High Throughput) 구성을 통해 코팅 시간이 짧고 프로세스 윈도우가 넓어집니다. 즉, 반복 실행 횟수가 줄어들고 비용 절감 효과가 높습니다. IBS-6000 은 원거리 프로세스 제어 (Distanced Process Control) 기능을 통해 자동화된 연구 애플리케이션에 편리한 기능을 제공합니다. 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하면 탐색하기 쉬운 설정 메뉴를 통해 프로세스 매개변수를 빠르게 선택하고 최적화할 수 있습니다. 이 장치의 맞춤형 레시피 및 시퀀스 기능을 통해 사용자는 스퍼터링 (sputtering) 및 기타 프로세스를 정확한 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. ULVAC IBS-6000은 ULVAC 특허 하이브리드 로터리 스퍼터링 기술을 사용합니다. 이 기술은 기존의 단일 축, 회전 스퍼터링 프로세스에 경제적인 솔루션을 제공합니다. 즉, 단일 축 회전을 사용할 필요가 없으며, 여러 개의 단일 축 스퍼터 장치와 관련된 에너지 및 비용을 절약할 수 있습니다. 또한 Hybrid-Rotary Sputtering은 스퍼터링 된 대상 패턴과 모양을 정확하게 생성 할 수 있습니다. 대기 제품 온도는 350 ° C 미만으로 유지되어 효율적이고 저온 처리가 가능합니다. 또한, 기계의 견고한 프레임 설계와 낮은 중력 중심은 뛰어난 안정성 및 진동 격리를 제공합니다. 이러한 기능을 결합하여 IBS-6000의 탁월한 처리 능력을 제공합니다. ULVAC IBS-6000은 정확한 원자층 증착 및 박막 증착이 필요한 많은 산업 및 연구 응용 분야에 이상적입니다. 특히 마이크로일렉트로닉 장치 (microelectronic devices) 와 센서 (sensor) 에 대한 패턴 및 정확한 성장 제어가 필요할 때 사용되는 효과적인 스퍼터링 도구입니다. 또한, IBS-6000은 비정상적인 조건과 비상 정지 논리 (Emergency Stop Logic) 에 대한 경보를 포함하여 안전 관련 기능이 내장되어 있어 광범위한 어플리케이션에 적합합니다.